Датчик для контроля удельного сопротивления пленочных резисторов
ОПИСАНИЕ 3093)5
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
МПК G Olr 27/02
Заявлено 04.1 I.1970 (№ 1403035/26-9) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 09Х!!.1971. Бюллетень № 22
Дата опубликования описания 13.IX.1971
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР ДК 621 317 7(0888) Авторы изобретения
Заявитель
А. H. Беспальчик и В. H. Глебов
Казанский ордена Трудового Красного Знамени авиационный институт
ДАТЧИК ДЛЯ КОНТРОЛЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ
ПЛЕНОЧНЬ1Х РЕЗИСТОРОВ
Известен датчик для контроля удельного сопротивления пленочных резисторов в процессе их изготовления методом вакуумного испарения, выполненный в виде резистора-свидетеля с контактными площадками, соединенными с измерительной схемой прижимными контактами.
Цель изобретения — повышение точности измерения удельного сопротивления пленочных резисторов.
Для этого резистор- свидетель связан с измерительной схемой катушкой индуктивности колебательного контура, расположенной внутри цилиндра из изоляционного материала. На наружной поверхности цилиндра нанесен незамкнутый вдоль образующей слой электропроводящего материала, на изоляционной поверхности которого на пылен резистор-свидетель. Контактные площадки последнего размещены на поверхности электропроводящего слоя.
На фиг. 1 изображен описываемый датчик; на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг. 1.
Датчик представляет собой цилиндр 1 из изоляционного материала, покрытый слоем электропроводящего материала малого сопротивления так, что вдоль образующей цилиндра на внешней поверхности датчика имеется свободное от покрытия пространство в виде щели 2, непосредственно возле которой расположен трафарет 3. Электропроводящий материал образует виток связи 4. Внутри цилиндра 1 находится катушка индуктивности 5 колебательного контура. Прямоугольное отверстие трафарета 8 расположено относительно щели 2 так, что испаряемое (напыляемое) вещество осаждается на внешней поверхности цилиндра в виде поперечной полоски, образуя резистор-свидетель б, соединенный с датчиком через контактные площадки 7.
Датчик устанавливается в подколпачном пространстве в районе напыляемых резисторов. Испаряемое (напыляемое) резистивное
15 вещество попадает через отверстие трафарета 8 на виток связи 4, замыкая щель 2. По мере напыления сопротивление резисторасвидетеля б, замыкающего щель 2, уменьшается. За счет взаимной связи катушки индук2р тивности 5 и витка связи 4, охватывающего ее, добротность колебательного контура уменьшается. Катушка индуктивности 5 подключается к измерительному устройству, которое контролирует добротность колебатель2ч ного контура, а она зависит от величины сопротивления резистора-свидетеля. Следовательно, величина добротности является мерой сопротивления или (при известных геометрических размерах резистора-свидетеля) мерой
30 удельного сопротивления.
309315
Предмет изобретения
Qua l
tttIt
Фиг.2
Составитель А. Мерман
Техред Е. Борисова Корректор А. П. Васильева
Редактор А. В. Корнеев
Заказ 2338!18 Изд. № 973 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Датчик для контроля удельного сопротивления пленочных резисторов в процессе их изготовления методом вакуумного испарения, содержащий резистор-свидетель с контактными площадками, соединенными с измерительной схемой, отличаюш,ийся тем, что, с целью повышения точности измерения удельного сопротивления пленочных резисторов, связь у помянутого резистора-свидетеля с измерительной схемой осуществлена посредством катушки индуктивности колебательного контура, расположенной внутри цилиндра, выполненного из изоляционного материала, на наружной поверхности которого нанесен незамкнутый вдоль образующей слой электропроводящего материала, а на изоляционной поверхности последнего напылен резисторсвидетель, контактные площадки которого
10 размещены на поверхности упомянутого электропроводящего слоя.

