Устройство для анализа электронной структуры
Ъ
Сееа Советски,т
Сециалистическик
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 16ЛХ.1968 (№ 1271652/26-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет.ЧПК G Oln 23/20
Комитет по делам иаебретений и открытий при Сосете Миниотрое
СССР
Опубликовано Ol.VII.1971. Бюллетень ¹ 21 ! Дата опубликования оппсаш,я ЗОЛ III.1971
УДК 621.383.9(088.8) Авторы изобретения
В. А. Трапезников и А. В. Евстафьев
Институт физики металлов АН СССР
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ АНАЛИЗА ЭЛЕКТРОННОЙ СТРУКТУРЫ
ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Изобретение относится к области приборостроения и предназначено для исследования электронного энергетического спектра твердых тел по фото и Оже-электронам и по вторичным и абсорбционным рентгеновским спектрам, а также для поэлементарного анализа.
Цель изобретения †увеличен точности измерений и расширение спектра измеряемых физических параметров.
В предлагаемом устройстве это достигается тем, что рентгеновская трубка и кристалл-монохроматор размещены над образцом выше торовой камеры, а под образцом расположены счетчик для регистрации проходящего рентгеновского излучения, кристалл-анализатор и счетчик для регистрации вторичного рентгеновского излучения.
Изобретение поясняется чертежом, на котором изображены бета-спектрометр (тонкие линии) и схема хода электронов (жирная линия) и рентгеновских лучей (волнистые линии). На чертеже показаны рентгеновская трубка в положениях 1, 2 с направлением испускаемого излучения по осям Х и У, изогнутый по Иоганну кристалл-монохроматор 8 для возбуждения излучения (он же используется как кристалл-анализатор для получения рентгеновского спектра поглощения с образца; лучи, отраженные от этого кристалла, имеют постоянное направление по оси 2); торовая вакуумная камера 4, в которой движутся электроны; напылитель 5 образцов, образец б; изогнутый по Иоганну кристалл-ана5 лизатор 7 для разложения в спектр вторичного излучения, испускаемого образцом (можно использовать и кристалл с изгибом по Кошуа); счетчик 8 для регистрации прошедшего через образец рентгеновского излучения;
10 счетчик 9 для регистрации испускаемого образцом вторичного излучения; счетчик 10 электронов.
Работа устройства включает три этапа.
Первый этап заключается в напылении двух
1s образцов с помощью специального напылителя 5. После этого один из образцов устанавливается в рабочее положение в торовой камере, которая имеет общий вакуум с напылителем. Замена одного образца другим осу20 ществляется перемещением держателя образцов вдоль оси Х без вакуума.
На втором этапе производится исследование кинетической энергии возбужденных электронов и анализ вторичного рентгеновско25 го излучения образца. Длина волны возбуждающего характеристического излучениярентгеновской трубки подбирается с учетом межплоскостного расстояния отражающей плоскости кристалла 8, так, чтобы угол отражения
30 был близок к 45 . При гаком угле отраженное
308344
В ñ
Составитель Е. Шульгин
Техред Л. Я. Левина Корректор О. С. Зайцева
Редактор Ю. Полякова
Типография, и р. Сап уно ва, 2
Заказ 2244/5 Изд. № 969 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, /К-35, Раушская наб., д. 4/5


