Способ транспортирования мелкодисперсныхматериалов
307948
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Со оз Соеетсиих
Со 1иолнсти-. сиих
Зависимое от авт. свидетельства ¹
МПК В 65я 27/04
Заявлено 30.1V.1970 (М 1436813/27-11) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 01 Vll.1971. Бюллетень № 21
Дата опубликования описания 25Х1П.1971
Комитет оо делотт иообсзтений и открытий оои Сосете Министров
СССР
УДК 621.867.157(088.8) ВСЕСОК3Я -1А ст ТЕНИНО-Щ, ;, :„ :";., - >
ГИБЛИ() ТЕ 1Д
Авторы изобретения
А. А. Вяльцев и А. T. Мягков
Заявитель
СПОСОБ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ МЕЛКОДИСПЕРСНЫХ
МАТЕР ИАЛО В
Предмет изобретения
Изобретение относится к вибрационному транспортированию мелкодисперсных материалов в вакууме при изготовлении тонкопленочных электронных микросхем методом вакуумного напыления.
Известны способы транспортирования мелкодисперсных материалов путем сообщения грузонесущему органу конвейера направленных колебаний низкой частоты. Однако известный способ характеризуется недостаточной стабильностью подачи вызванной налиианием материала на грузонесущем органе ввиду высоких коэффициентов трения покоя при транспортировании материала в вакууме.
Особенность предлагаемого способа состоит в том, что одновременно с колебаниями низкой частоты грузонесущему органу сообщают колебания ультразвуковой частоты.
Это позволяет устранить налипание материала на грузонесущем органе при транспортировании материала в вакууме.
Предлагаемый способ обеспечивается двухчастотным законом колебания грузонесущего органа. Накладывание колебаний ультразвуковой частоты на колебания низкой частоты позволяет получить высокие значения ускорений при небольших амплитудах, что создает устойчивое вибрационное перемещение мелкодисперсных материалов в вакууме, ликвидируя налипание материала на грузонесущем
10 органе.
Способ транспортирования мелкодисперс15 ных материалов путем сообщения грузонесушему органу конвейера направленных колебаний низкой частоты, отличающийся тем, что, с целью устранения налипания материала на грузонесущем органе при транспортировании
20 материала в вакууме, грузонесущему органу сообщают одновременно с колебаниями низкой частоты колебания ультразвуковой частоты.
