Устройство для напыления пленок
2В9593 о и и с в н-ки--иИЗОБРЕТЕНИЯ
Сома Советских
Социалистичвоких
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависпмсе от авт. свидетельства М
Заявлено 24.Vt.1968 (№ 1250246!26-9) с присоединением заявки Ме
Приоритет
Кл. 48b, 13, 00
21а4 75
МПК С 23с
Н 05k
УДК 539.234(088.8) йомитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
Опубликовано 12.Xtt.1969. Бюллетень М 2 за 1970
Дата опубликования описания 5Х1.1970
Авторы изобретения
Б. А. Александров, В. А. Мешков и Л. М. Можаров
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК катода из ра".ïûëÿå3Iîãо материала. В качестве анода служит основание 6 камеры. Дополнительнып электрод 7 расположен вне зоны катод — подложкодержатель и на него подается переменное напряжение. Прп положительной полуволне этого напряжения в рабочей камере возникает тлеющий разряд и образуется плазма, прп огрицательной полуволне напряжения происходит распад плазмы, и по10 ток ионов движется к аноду. При бомбардировке анода ионами поглощаются остаточные газы, что уменьшает давление в камере и улучшает качество напыляемых пленок.
Устройство для напыления пленок, содержащее гермегизированную камеру, катод, анод, 20 изолированный подложкодержатель и дополнительный электрод, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции уи повышения качества наносимых пленок, электрод, соединенный с источником переменного напряже25 ния, может быть размещен в любой точке камеры, расположенной вне зоны катод — подложкодержателb.
Изооретение относится .к сбла ти .радпоте,ники,:в частности к конструкции у стройства для напыления тонких пленок при изготовлении пленочных микросхем.
Известны устройства для напыления пленок в,вакууме, содержащие катод., анод и размещенный между катодом II подложкой дополнительный электрод, соединенный с плюсом вспомогательного источника постоянного напряжения, минус которого подключен к аноду.
Подобные устройства ко.)структивно,слоукны, так как требуют применения отдельного выпрямителя и не обеспечивают высокого качества .наносимых пленок.
С целью упрощения конструкции и повышения качества наносимых пленок в предлагаемом устройстве дополнительный электрод подключен к источнику переменного напряжения и можег быть размещен вне звоны катод — подлож кодержа гель.
На чертеже изображена конструкция предлагаемо"o устройства.
В вакуумной камере 1 размещен катод 2 и подложкодержатель 8, на котором укреплены на пыляемые .подложки 4. Заземленный экран
5 служит для предотвращения образования тлеющего разряда:на нерабочей поверхности
Предмет изобретения
259593
Составитель Э. Фридолииа
Редактор Т. И. Морозова Техред T. П. Курилко Корректор Г. П. Шильман
Заказ 1299/2 Тираж 500 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
