Интерференционное зеркало
О П И СА Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
306520
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 07.1.1970 (№ 1391970/26-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 11.V1.1971. Б|оллетень ¹ 19
Дата опубликования описания 21Л II.1971
МПК Н 01s 3/08
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.375.8(088.8) Авторы изобретения Т. Н. Крылова, P. С. Соколова, И. Ф. Бохонская и А. Я. Кузнецов
Заявитель
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ ЗЕРКАЛО
Изобретение относится к устройствам для резонаторов оптических квантовых генераторов.
Известны зеркала, диэлектрические покрытия которых оптической толщиной, кратной
Х/4 нанесены химическим методом из растворов Ti (OC>H„.-) 4 и Si (OC>H>) g. Однако изготовленные этим способом покрытия имеют низкие пороги разрушения: порядка 500—
800 дж/с.и в режиме свободной генерации.
Цель изобретения состоит в получении высокоотражающих покрытий для различных участков спектра, устойчивость которых»а порядок выше, чем у известных.
Поставленная цель достигается благодаря тому, что слои с высоким показателем преломления нанесены из смесей окислов, таких как
TiO2 — HfOg, TiO — Т1т02, ThO — Hf02, причем каждый слой оптической толщиной Х./4 наносится в несколько приемов из тонких слоев.
Многослойные отражающие покрытия изготавливают следующим образом.
Слои с высоким показателем преломления наносят из смеси растворов малых концентраций этиловых эфиров, солей и други.;. соединений в этиловом спирте, например, 3%
Тт(ОС Н5)4 + 0,5% 5Th(NO;).,+7% Н(ОС12+
+0,5% МТ1т (ХО-.) и др. и прогревают при
400 С в течение 0,5 — 1 час.
Слои с низким показателем наносят из растворов этилового эфира кремневой кислоты малых концентраций, например 4% З|(ОС.Н,) < с последующим прогревом при 500 С в течение 0,5 — 1 час.
Описываемое зеркало образовано слоями диэлектриков с высоким показателем преломления более мелкозернистой и монолитной структуры, чем известные, в результате чего на порядок повышены пороги разрушения покрытий — примерно 10000 дж/слР в режиме свободной генерации.
Предмет изобретения
Интерференцпонное зеркало, состоящее из чередующихся слоев диэлектриков с высоким и низким показателями преломления, отличаюи1ееся тем, что, с целью повышения устойчивости зеркала и излучению оптического квантового генератора, слои с высоким показателем преломления нанесены из смесей
25 окислов, например Т10а — ThO, TiO — HfO), Т1тО,— Н10,.
