Устройство для измерения малых перемещенийи вибраций

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

30I558

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено ОЗ.Х1,1969 (№ 1373721/18-10) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 21.1К1971. Бюллетень ¹ 14

Дата опубликования описания 4.VI.1971

МПК 6 01h 9/00

Комитет по делам иаооретеиий и открытий при Совете Мииистров

СССР

УДК 534,677.002.56 (088.8) Авторы изобретения

Ю. Н, Малинин и Ю. E. Польский

Заявитель

Казанский авиационный институт

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

И ВИБРАЦИЙ

Изобретение относится к области измерительной техники.

Известны устройства для измерения малых перемещений и вибраций, содержащие интерферометр, монохроматический источник света, диафрагму, фотосмеситель и регистрирующее устройство.

Предлагаемое устройство позволяет повысить точность измерений и помехозащищенность.

Это достигается за счет того, что оно снабжено генератором высокой частоты, соединенным с вибратором, на котором укреплено опорное зеркало интерферометра, избирательным усилителем и синхронным детектором, включенными между фотосмесителем и регистрирующим устройством.

Кроме того, для обеспечения повышенной частоты колебаний опорного зеркала в предложенном устройстве вибратор выполнен в виде пьезокварцевой подложки, На чертеже представлена блок-схема описываемого устройства, Устройство состоит из высокомонохроматического источника 1 света, например стабилизированного по амплитуде и частоте газового лазера, интерферометра, состоящего из светоделителя 2, высокоотражающего зеркала 8, установленного на вибраторе 4, например пьезокварцевой подложке, и вибрирующей огражающей поверхности 5.

В состав устройства также входят диафрагма б, объектив 7, нейтральный фильтроосла5 битель 8, фильтр 9 на длину волны измерения лазера, фотосмеситель 10, избирательный усилитель 11, синхронный детектор 12, регистрирующее устройство 18, высокочастотный генератор 14 и фазовращатель 15.

10 Светоделитель 2 делит параллельный пучок лучей источника 1 монохроматического> излучения, один из которых через фильтр-ослабитель попадает на подвижное опорное зеркало

8, а другой фокусируется объективом 7 на

15 вибрирующую поверхность 5, Отраженные и промодулированные за счет эффекта Допплера лучи снова попадают на светоделитель 2 и далее, пройдя через диафрагму б и фильтр 9, смешиваются фотосмесителем 10.

20 Выходное напряжение фотосмесителя 10. представляющее собой биение двух частотномодулированных сигналов, подается далее на избирательный усилитель 11, настроенный на частоту Л/О.

2S С выхода избирательного усилителя 11 сигнал поступает на синхронный детектор 12, куда одновременно подается через фазовращатель 15 опорное напряжение с высокочастотного генератора 14, служащего для возбужде30 ния движения опорного зеркала 8. Продетекти301558

Предмет изобретения

Составитель В. Н. )Килейкина

Редактор С. И. Хейфиц Техред Е. Борисова Корректор Н. Рождественская

Заказ 1367/15 Изд. № 616 Тираж 473 Подписное

Ц1 ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ров анное напряжение, несущее информацию об амплитуде и частоте перемещений вибрирующей поверхности 5, обрабатывается в регистрирующем устройстве 18, в качестве которого, например, может быть использован анализатор спектра.

1. Устройство для измерения малых перемещений и вибраций, содержащее интерферометр, монохром атический источник света, диафрагму, фотосмеситель и регистрирующее устройство, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений и помехозащищепности, оно снабжено генератором высокой частоты, соединенным с вибратором, на

5 котором укреплено опорное зеркало интерферометра, избирательным усилителем и синхронным детектором, включенными между фотосмесителем и регистрирующим устройством.

lo 2, Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью обеспечения повышенной частоты колебаний опорного зеркала, в нем вибратор выполнен в виде пьезокварцевой подложки.