Пьезокварцевый адсорбционный датчик влажностигазов

296988

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства Хо

Заявлено 27.Х1.1969 (№ 1380311/18-10) с присоединением заявки Ке

Приоритет

Опубликовано 02.Ill.1971. Бюллетень М 9

Дата опубликования описаш1я 16.1Ч.!971

МПК 6 01п 27/00

G 01r 23/02

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 551.508.7(088.8) Лвторы изобретения

Э. А, Левчук и А, Ф, Чудновский

Агрофизический научно-исследовательский институт

Заявитель

ПЬЕЗОКВАРЦЕВЪ|Й АДСОРВЦИОННЫЙ ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ

ГАЗОВ

Изобретение относится к измерительной технике.

Известные пьезокварцевые адсорбционные датчики влажности газов, содержащие пьезокварцевый резонатор, покрытый влагопоглощающей пленкой, не обеспечивают достаточной точности измерения и позволяют определять влажность сжатых газов, Цель изобретения — повышение точности измерения и определение влажности сжатых газов. Достигается она тем, что влагопоглощающая пленка датчика выполнена из цеолита NaA, связанного отожженным тонкопористым кремнеземом.

Повышение влагочувствительности пьезокварцевого адсорбционного датчика и точности его показаний при работе в сжатых от 1 до 100 — 300 атм газах различного химического состава достигается тем что влагочувствительная пленка, покрывающая пьезорезонатор, выполнена из зерен тонкопористого цеолита NaA, связанных тонкопористым кремнеземом, полученным в результате гидролиз а этилового эфира ортокремневой кислоты и доведенным путем отжига при 350 С до структурного состояния с диаметром пор порядка

4 — 5 Л.

10 Предмет изобретения

Пьезокварцевый адсорбционный датчик влажности газов, содержащий пьезокварцевый резонатор, покрытый влагопоглощающей

15 пленкой, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и возможности измерения влажности сжатых газов, влагопоглощающая пленка выполнена из цеолита NaA, связанного ото>кженным тонкопористым кремиеземом.