Патент ссср 286090

Авторы патента:

H01J3/40 - ловушки для удаления или отклонения нежелательных частиц, например отрицательных ионов, краевых электронов; избирательные устройства по скорости или массе

286090

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09.VIII.1968 (№ 1261108/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 10.XI.1970. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 11.1.1971

Кл. 2Ig, 13/15

МПК Н ОЦ 3/40

УДК 621.385.032.85 (088.8) комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Лвторы изобретения

М. М. Погорельский и П. В, Пошехонов

Заявитель

СПОСОБ ОЧИСТКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА

Изобретение относится к электровакуумной технологии, в частности к способам очистки вакуумных приборов от посторонних частиц.

Известны способы удаления свободных посторонних частиц из рабочего объема электровакуумного прибора, например способ, при котором частицы улавливаются в сцециальные ловушки путем их механического перемещения, например при вибрации.

Этот способ неэффективен, поскольку вероятность попадания частиц в ловушки весьма незначительна.

Предлагаемый способ позволяет повысить эффективность очистки и заключается в том, что при вибрации прибора на его электроды подают высокое напряжение, создающее напряженность электрического поля на поверхности электродов более 1 кв/см.

При подаче напряжения свободные металлические или диэлектрические частицы, находящиеся на поверхности электродов, отрываются от них, переносятся на соседний электрод, перезаряжаются, снова открываются и т. д.

5 Совместное воздействие электрического поля и вибрации резко увеличивает вероятность гюпадания частиц в ловушки. Как показал эксперимент, через 10 мин все посторонние частицы оказываются в ловушке.

Предмет изобретения

Способ очистки электровакуумного прибора от свободных посторонних частиц, включающий улавливание частиц в ловушки при виб15 рации прибора, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности очистки, при вибрации прибора на его электроды подают напряжение, создающее напряженность электрического поля на поверхности электродов бо20 лее 1 кв/см.

Изобретение относится к плазменным технологиям нанесения пленочных покрытий и предназначено для очистки плазменного потока дуговых испарителей от микрокапельной фракции

Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц // 2108636

Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц // 2364003

Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты) // 2097868

Устройство для электрического торможения пучка заряженных частиц // 376027

Фильтрующий элемент для очистки плазмы // 492011

Устройство для изучения ионатомной перезарядки // 698070

Вакуумно-дуговой генератор с жалюзийной системой фильтрации плазмы от микрочастиц // 2516502

Изобретение относится к плазменным технологиям нанесения пленочных покрытий и предназначено для очистки плазменного потока дуговых ускорителей от микрокапельной фракции. Вакуумно-дуговой генератор с жалюзийной системой фильтрации плазмы от микрочастиц содержит охлаждаемый катод 1 в виде усеченного конуса, поджигающий электрод 3, установленный на конической поверхности катода 1, цилиндрический охлаждаемый анод 4, установленный коаксиально с катодом 1, источник питания 5 вакуумной дуги, включенный между катодом 1 и анодом 4, источник питания 6 поджигающего электрода 3, подключенный отрицательным выходом к катоду 1, осесимметричную жалюзийную систему вставленных друг в друга конических электродов 7, электрически соединенных между собой последовательно и встречно и подключенных к источнику тока 9 и к положительному выводу источника напряжения 8, вторым выводом подключенного к аноду дугового испарителя, над анодом, до жалюзийной системы и после нее установлена, по меньшей мере, одна электромагнитная катушка 10, 11, 12 и перед жалюзийной системой электродов, соосно с ней, установлен дополнительный охлаждаемый анод 13. В центре катода 1 выполнено отверстие в виде встречного, по отношению к внешней поверхности катода, усеченного конуса, а электроды 7 жалюзийной системы выполнены в форме конической многовитковой винтовой линии. В центральной части катода, в плоскости малого диаметра усеченного конуса, установлен диск 2 из тугоплавкого материала. Жалюзийная система выполнена двухэлектродной. Электроды 7 жалюзийной системы и дополнительный анод 13 выполнены так, чтобы не было прямой видимости рабочей поверхности катода, включая его конические поверхности, из любой точки пространства, расположенного за жалюзийной системой. Электроды 7 выполнены с зазорами между соседними витками конической винтовой линии и разной длины. Технический результат - увеличение эффективности прохождения плазмы через жалюзийную систему электродов и ионного тока на выходе. 5 з.п. ф-лы, 1 ил.

Устройство для очистки плазменного потока дуговых испарителей от микрокапельной фракции // 2585243

Изобретение относится к плазменным технологиям нанесения пленочных покрытий и может быть использовано в электронной, инструментальной, оптической, машиностроительной и других отраслях промышленности. Устройство содержит жалюзийную систему, выполненную в виде набора электродов, перекрывающих апертуру испарителя. Электроды электрически соединены между собой последовательно и встречно и подключены к источнику тока и к положительному выводу источника напряжения, вторым выводом подключенного к аноду дугового испарителя. Каждый электрод выполнен из двух прилегающих друг к другу элементов, которые подключены к источнику тока таким образом, чтобы по ним протекал ток в противоположных направлениях. Технический результат - повышение производительности за счет увеличения общего потока плазмы на выходе плазменного фильтра. 2 ил.