Способ изготовления пьезоэлементов кварцевых резонаторов
О П И С А Н И Е 284054
ИЗОБРЕТЕ Н Ия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетскиа
Социалистическиа
Республик
Зависимое от авт; свидетельства ¹â€”
Заявлено 29.111.1969 (¹ 1315296 26-9) Кл, 21а, 10 с присоединением заявки М—
МПК Н 04r 17/00
Комитет по делаю изобретений и открытий при Совете Чииистров
СССР
Приоритет—
Опубликовано 14.Х.1970. Бюллетень ¹ 32
3 ÄK 537,228,1 (088.8}
З,ата опубликования описания 28.IV. I 971
Авторы изобретения
М. И. Ярославский, И. К.-И. Пекарь и А. П. Федорков
Ь="..
1 . "11;
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ
КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ
П р едмет и зобр етения
Изобретение относится к области технологии изготовления пьезоэлектрических элементов кварцевых резонаторов, в частности кварцевых резонаторов с линейной температурночастотной характеристикой, которые применяются в качестве датчиков тем|пе|ратуры о (ружающей среды в приборах, использующих термочастотные способы измерения температуры, например в прямопоказывающпх цифровых электронно-счетных термометрах или в системах автоматического регулирования, в которых вводимым параметром является частота электрических колебаний.
Известны способы изготовления пьезоэлементов кварцевых резонаторов с линейной температурно-частотной хара|ктеристикой, в которых используются кварцевые пластины, вырезанные из и сходного кристалла таким образом, что пара их,наибольших граней оказывается повернутой против часовой стрелки на угол 9 23 34" вокруг электрической оси Х кварца, а также на угол +-11 9 58" вокруг оптической оси Z кварца от.плоскости, определяемой обеими указанными осями Х и Z (плоскости XZ). Ориентированные под такими углами кварцевые пластины называются плас= тинами среза LC.
Недостатком LC-среза является то, что для получения действительно линейной температурно-частотной характеристики (c точностью до бесконечно малых величин четвертого порядка) пьезоэлементы этого среза выполнены с погрешностью угловой ориентации, не превышающей 20 — 30" указанное условие именно для этого среза в настоящее время нс может быть обеспечено на практике, поскольку при характеризующем срезе 1.С сочетании значени Й углов даже лучший о те че:тВен ны и р е н тгеногониометр ДРК вЂ” 2 дает погрешность изме1п рений в .пределах от 5 до 10 .
На чертеже изображено расположение срезов относительно кристаллографических осей
;;,v,z.
С целью обеспечения высокой точности орп15 снгировки пьезоэлеметрического элемента относительно кристаллофизическпх осей по предлагаемому способу из исходного монокристалла кварца вырезают пьезоэлемент, его базовую плоскость в точности совмещают с атом2О ной плоскостью кварца 1451, угол наклона которой относительно оптической оси Z равен
9 44 51", а относительно электрической оси Л составляет 10 53 36".
Способ изготовления пьезоэлементов кварцевых резонаторов с линейной температурночастотной характеристикой, заключающийся
ЗО в том„что из исходного монокристалла квар-284054
Составитель E. Хвощева
Тегеред T. П. Курнлко Корректор Л. Б. Бадылаяа Редактор Н. В. Суханова,,Заказ 7946 . Тираж 480 Подписке
ЦНИИПИ Ковгятета .по делам изобретений и открьгпий при Советике Минкст ров СССР, Москва,.7К-35, Раушакая иаб., д.. 4/5
Областная тнпография Костромского управления по печати иа вырезают пьезоэлемент, базовую плоскость которого поворачивают вокруг оптической оси Z и вокруг электрической оси Х от плоско,сти XZ, определяемой упомянутыми осями, аулпчп>ощайся тем, что, с целью обеспечения высокой точности ориентировки, базову;о плоскость элемента в точности совмеща|от с атомной плоскостью кварца 1451, угол наклоIiB которой относительно оптической оси Z равен +9 44 51", а относительно электрической оси Х составляет 10 53 36".
