Способ получения электроизоляционной пленки

Йтзесо птенец я иатентно-" - .": " "" О П "И С- А" Н -И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

283766

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 12.VI.1969 (№ 1336473/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 06.Х.1970. Бюллетень ¹ 31

Дата опубликования описания 15.XII,1970

Кл. 48а, 9/02

Комитет по делам изобретений и открытиЯ лрн Совете Министров

СССР

МПК С 23Ь 11/00

УДК 621.357.8(088.8) Авторы изобретения

Н. А. Сибирякова и С. И. Зорина

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОИЗОЛЯЦИОННОЙ ПЛЕНКИ

НА АЛЮМИНИИ

Предмет изобретения

Изобр етен1ие относится к электронной, полупроводниковой .и радиотехнической прюмышленностям и может найти применение при изготовлении тонкопленочных полупро водтвиковых интегральных и печатных схем.

Известен способ получения нагрево стойкой электр оизоляцио)нной пле нки AIF> на поверхности алюминия при воздействии на него газ о о бр аз ного фтор а или фтор истого в одор ода при температуре 500 С.

Недостатки этого способа заключаются в агресс ив ности,и токсичности F и HF и высокой температуре обраоотки изделий.

С целью устранения указанных н едостатков, согласно пр едлатаемому cIIioaooy, электроизоляционную пленку получают анодной обработкой алюминия при температурке 40—

45 С и напряжении 30 в в электролите, содержащем (в г/л): натрий фтор и,стый 80 — 120 калий фтористый 80 — 120 кал ий фтор истый иислый 80 — 120

Распвор готовят внедрением в нагретую до

40 — 45 С дистиллированную воду 80—

120 г/л фтористого калия, 80 — 120 г/л фтористого натрия и 80 — 120 г/л фтористого кислого калия.

Алюминиевые детали или проводники, подлежащие покрытию пленкой фторида алюминия, помещают в приготовленный раствор, имеющий температуру 40 — 45 С, так чтобы

5 они контактировали с анодом. Катодом при этом служит графит. На изделие подают напряжение 30 в. Время обработки 7 — 10 мин.

Образующаяся пленка фторида алюминия имеет поликристаллическую структуру, толщи10 ну 1 — 15 лк, высокую сплошность, твердость и эластичность, пробивное напряжение 350—

400 кв/лтм, прочно сцеплена с металлом, выдерживает нагрев до 500 — 550 С, не подвергается действию кипящей воды и растворите15 лей.

Способ получения электроизоляционной

20 пленки на алюминии в виде фторида алюминия, отличающийся тем, что, с целью упрощения и снижения токсичности процесса, алюминий подвергают анодной обработке в электролите, содержащем (в г/л):

25 натрий фтористый 80 — 120 калий фтористый 80 — 120 калий фтористый кислый 80 — 120 при напряжении 30 в и температуре 40 — 45 С.