Тонких пленок
ОПИСАН ИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетокиэ
Социелиотичеокиэ
Реопублик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 07.ЧП,1969 (№ 1345129/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21,VI I I.1970. Бюллетень ¹ 26
Дата опубликования описания 23.XI.1970
Кл. 421, 12/02
МПК G 01п 25/18
УДК 536.21(088.8) Комитет по делатл изобретений и открытий при Совете Миниотрое
СССР
Авторы изобретения
В. С. Тюшев и А. А. Липовка
Северо-Западный заочный политехнический институт
Заявитель
lI
ОГЬНАП
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ1 .. .1." ..;" ° Аа.: . гл1:
ТОНКИХ ПЛЕНОК C;.";- . ; ), Е .-.f Гп . 0 п — э гэ
Изобретение относится и области определения теплофизических характеристик и может быть использовано, например, в микропленочной технике, вакуумной технике, при исследовании физики поверхностных явлений, при наблюдении размерных эффектов в тонких пленках в физике твердого тела.
Известные способы измерения теплопроводности пленок принципиально не позволяют проводить измерения для пленок толщиной о менее 1000А, поскольку пе удается с приемлемой точностью замерить градиент температуры по толщине такой пленки в основном из-за того, что измерительный прибор вносит существенные искажения в температурное поле пленок рассматриваемой толщины.
По предлагаемому способу для повышения точности определения на часть поверхности подложки наносяг исследуемую пленку, покрывают ее и оставшуюся часть подложки эталонной пленкой, пропускают тепловой поток со стороны подложки, измеряют разность температур между поверхностями эталонной пленки, нанесенными на исследуемую пленку и подложку, и находят искомую величину по формуле где г,„— коэффициент теплопроводностп исследуемой пленки; а„— толщина исследуемой пленки; и,— толщина эталонной пленки;
5 „— коэффициент теплопроводности эталонной пленки;
l — температура эталонной пленки, нанесенной на исследуемую пленку; . " — температура эталонной пленки, нане10 сенной на подложку; . „— темперагура окружающей среды.
Исследуемую тонкую пленку наносят (например, напыляют) на часть поверхности подложки.
15 После этого, измерив с помощью интеференционного микроскопа ее толщину, наносят уже па всю поверхность подложки эталонную пленку из этого илп из другого материала, близкого по теплопроводностп, такой толшпны, что20 бы ее теплопроводность могла бь|ть измерена любым известным методом. Толщину пленки измеряют, например, резонансным методом— параллельным напылением материала на кварцевыи резонатор. Пропуская тепловой по25 ток со стороны подложки, измеряют разность температур между поверхностью эталонной пленки, лежащей на исследуемой пленке и на подложке.
Измеряют также разность температур меж30 ду поверхностью пленки и окружающей сре279119 п — э п - — Io
d пи . — о гэ
Предмет изобретения
Редактор С. И. Хейфиц Составитель В. С. Агапова Корректор Л. Л. Евдонов
Заказ 3318/5 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делалг изобретений и открытий при Совстс Министров СССР
Москва,,Ж-35, Раупгскап наб., д. 4/5
Типографии, пр. Сапунова, 2 дой. Зная отношение толщин исследуемой и эталонной пленок. находят коэффициент теплопроводности исследуемой пленки по формуле
Способ определения теилопроводности тонких гкленок путем ггагреваггия их тепловым потоком, от гипагощийгся тем, чго, с целью повышения точ IocTI определения, на часть поверхности подложки наносят исследуемую пленку, покрывают ее и оставшуюся часть подло>кки эталонной пленкой, пропускают тепловой поток со стороны подложки, измеряют разность температур между поверхностями эталонпой пленки. паггесеггнылггг на исследуемуго пленку и подложку, и находят искомую величину по формуле где Х,„— коэффициент теплопроводности исследуемой пленки, ап — - толщина исследуемой пленки, d,— толщина эталонной пленки, г.э — коэффициент теплопроводпости эталонной пленки, г — температура эталонной пленки, нанесенной па исследуемую пленку, 3" — телгггература эталоннсй пленки, нанесеIIIIQII па подложку, /в — темггература окружающей среды.
