Способ получения покрытий из окислов металлов
ВОЕСо зна лс.тентно-тыл .iчесмм, j библиотена МБА
О П И С А Н И Е 268844
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Саюз Советскик
Социалистическик
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
К ч 48b 11/08
Заявлено 19.И11.1968 (№ 1264606/22-1) с присоединением заявки ¹
МПК С 23с 11 08
УДК 621.793.14(088,8) Приоритет
Опубликовано 10.1V.1970. Бюллетень № 14
Дата опубликования описания 16ХП.1970
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
А. T Мандрич, В. И. Змий и Е. П. Нечипоренко
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ОКИСЛОВ
МЕТАЛЛОВ
Предмет изобретения
Изобретение относится к области получения покрытий из окислов металлов при термическом разложении различных соединений металлов с помощью транспортных реакций.
Известен способ получения покрытий из окислов металлов на основе транспортных реакций при термическом разложении галогенида металла в присутствии углекислого газа и водорода.
По предлагаемому способу наносимый окисел металла сначала восстана|вливают углеродом в вакууме при 1250 — 1650 С и осаждают на поверхность путем повышения температуры подложки до 1500 — 1850 С, что повышает качество получающегося покрытия.
Предложенный способ основан на обратимости реакции восстановления окислов металлов углеродом в вакууме не ниже 10 л м рт. ст. При 1250 — 1650 С происходит восстановление окислов металлов углеродом по реакциям типа:
МеОх+хСМе+хСО
МеОх+СМеС, > +СО
МеОх+ (х+1) СМеС+хСО
С повышением температуры подложки до
1500 — 1850 С равновесие сдвигается справа налево и окисел металла с помощью газообразной фазы переносится на покрываемую поверхность.
Так для получения покрытия из окиси алюминия на вольфраме окись алюминия и образец из вольфрама, концы которого соединены с источником питания, помещали в графитовый цилиндр, которьш в свою очередь помещали в высокотемпературную печь, температуру в которой поддерживали 1600. Затем на вольфрамовом образце устанавливали
1650 — 1850 С, за счет чего на нем осаждалась
10 окись алюминия а-фазы. Процесс осуществляли в вакууме — 10 л л рт. ст. В зависимости от температуры подложки скорость осаждения составляла от 10 до 300 ик(час.
Полученное покрытие отличается хорошей
15 адгезией с основной и плотность его близка к теоретической.
Предложенным способом можно получать покрьпия из А!.Оз, ВеО, ZrO, SiO> и др.
Способ получения покрытий из окислов металлов на основе транспортных реакций, от25 личающийся тем, что, с целью повышения .качества покрытия, наносимый окисел металла восстанавливают углеродом в вакууме при
1250 — 1650 С и осаждают на поверхность путем повышения температуры подложки до зо 1500 — 1850 С.
