Способ получснмя молибдена из газовой фазы
I80800
ОПИСАНИЕ
ИЗОБР ETEHH $I
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 40а, 49/00
Заявлено 17.VI I I.1964 (№ 917006/22-2) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 26.III.1966. Бюллетень № 8
Дата опубликования описания 18Х.19бб
МПК С 2Ь
УДК 669.283(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР т
Ф
А. Л. Эпштейн, Л. А. Ижванов, Ю. М. Королев, В. И. Столяров и Н. В, Победаш
Авторы изобретения!
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНг1Я МОЛИБДЕНА ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
В известных способах получения молибдеа из га оной фазы с осаждением ег, на на ггачЕСтВЕ ИСХОдноГ, СЫрья, и „,, „-тГтахлоРид или каРбонил мо,51
ПОВЫШЕНИЯ ЭКОНОМИгггЗСТИ ПРОЦЕССа
Гается в качеег г с- исхо,(ного сы1 ь пользовать гексафторид молибд ча
Па1.огазовую смесь гексафторид на с водородом с молярным соотношением
-1; и подают в реакционную камеру, где происходит восстановление молибдена на нагретой до температуры "-650 С подложке из.,,„;.и да пли др ггого металла, который впо "дствии мо.ь, г б .ть удален, например растP опием в кислстг, Гексафторид молибдена, --паряют прп Г мпературе 35 С.
Предмет изобретения
Спос особ получения мол ибдена из газовой фазы с осаждением компактного молибдена
10 на н агретую подложку отличающггйся тем. что, с целью повышения экономичности процесса, в качестве исходного сырья используют гсксафторид молибдена.
