Интерференционный фильтр

8 есоюзнал

-зтатентно-техчиче : 1 би лизетте МГ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СЗИДНЕЛЬСТВ

266265

Союз Саеетских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 42h, 34/08

Заявлено 15.YII.1968 (№ 1255485/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

МПК G 02b

УДК 535.345.6:535.853. .6 (088.8) Комитет пс делам изобретений и открытий при Спеете Министров

СССР

Опубликовано 17.III.1970. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 7Х1П.1970

Авторы изобретения

М. А. Валидов и М. А. Гисин

Заявитель

41еееет

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ФИЛЬТР

Известны многослойные интерференционные фильтры, изготовленные путем нанесения на прозрачную для рабочей области спектра подложку многослойных систем, состоящих из чередующихся между собой покрытий с высоким и низким показателями преломления.

В качестве материалов покрытий используют, например, трехсернистую сурьму, теллур и фтор истый стронций.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что покрытия выполнены из пары: германий — фтористый стронций.

Это позволяет повысить устойчивость фильтров к климатическим и механическим факторам, а также расширить область их прозрачности до 25 мкм.

Изготовление фильтров осуществляется на вакуумной установке, обеспечивающей контроль за толщинами слоев и нагрев подложек в процессе испарения. Германий (монокристалл) испаряется из графитовых тиглей, а фтористый стронций — из вольфрамовых лодочек. Давление в процессе испарения не должно превышать 5 10 "мм рт. ст. Подложки перед испарением нагреваются до температуры 270 — 300 С. В процессе нанесения слоев их температура должна поддерживаться в интервале 270 — 320 С. Необходимо обеспечить равномерный нагрев подложек и образца, по которому ведется контроль за толщиной напыляемых пленок. В качестве подложек могут использоваться кварц, фтористый барий, германий, кремний и другие полупроводниковые монокристаллы.

На чертеже показаны оптические характеристики двух отрезающих фильтров, изготовленных на подложках фтористого бария (кривая 1) и просветленного слоями сульфида цинка монокристаллического германия (кривая 2) .

Первый из них состоит из 13- и 11-слойных

1О четвертьволновых систем с крайними слоями в /з длину волны, а второй — из 11- и двух 9слойных систем. Все системы нанесены одна на другую, Подложка из германия просветлена на область спектра 8 — 12 мкм.

15 Фильтры, изготовленные таким образом, обладают высокой устойчивостью к механическим и климатическим воздействиям.

Так, например, фильтр на германиевой подложке обеспечивает работоспособность при

20 низких температурах, вплоть до 20 К.

Предмет изобретения

Интерференционный фильтр, представляющий собой подложку с нанесенными на нее

25 покрытиями с высоким и низким показателем преломления, отличающийся тем, что, с целью повышения устойчивости фильтр а к механическим и климатическим воздействиям, а также расширения области его прозрачности, по30 крытия выполнены из пары: германий — фтористый стронций.

266265

О г 8 В 70 12 l4 Ъ В го гУ 2 гб гг

Составитель М. Пантелеев

Редактор Н. Д. Воликова Техред Т. П. Курилко

Корректор И. С. Хлыстова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2000/12 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5