Электростатическое зажимное устройство
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
257270
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено ЗО.Х.1967 (№ 1194069/25-8) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 11.XI.1969. Бюллетень № 35
Дата опубликования описания 8.IV.1970
Кл. 49с, 31/05
Комитет по делам
МПК В 23d
УДК 62-229.39 (088.8) иаобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
М. С, Рабинович
Заявитель
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ ЗАЖИМНОЕ УСТРОЙСТВО
Предмет изобретения
Известны электростатические зажимные устройства, содержащие блок питания постоянным током высокого напряжения и полупроводниковую плиту, нижняя плоскость которой металлизирована, а рабочая поверхность покрыта слоем диэлектрика.
В предложенном устройстве с целью ооеспечения автономности устройства блок питания выполнен в,виде химического источника тока с высокочастотным преобразователем и выпрямителем, и размещен в корпусе усгройства.
На чертеже схематически изображено описываемое устройство.
Электростатическое зажимное устройство содержит корпус 1, в верхней части которого смонтирована полупроводниковая плита 2, наружная поверхность которой покрыта слоем диэлектрика и является рабочей поверхностью 8, а на нижнюю поверхчость нанесен металлизированной слой 4. Плита 2 изолирована от корпуса диэлектриком б.
Деталь б закреплена на поверхности 8 и соединена с корпусом 1 через контактную планку 7.
В нижней части корпуса расположен блок питания, состоящий из химического источника тока 8, преобразователя 9 на полупроводниковых триодах и выпрямителя 10 на полупроводниковых выпрямительных столбиках, и выключатель 11 цепи питания.
При включении выключателя 11 замыкается цепь питания преобразователя. Преобразо5 ватель 9, собранный по одной из известных схем, возбуждается и преобразовывает постоянньп1 ток в высокочастотные колебания переменного тока прямоугольной формы соответствующего напряжения. После выпрями10 теля 10 постоянное напряжение подключается одним полюсом к металлизированному слою 4 полупроводниковой плиты, а другим-к корпусу зажима.
Деталь б прижимается к плите и может
15 быть подвергнута обработке.
Электростатическое зажимное устройство, 20 содержащее блок питания постоянным током высокого напряжения и полупроводниковую плиту, установленную в корпусе, нижняя плоскость которой металлизирована, à верхняя, рабочая, покрыта слоем диэлектрика, отли25 чаюи ееся тем, что, с целью обеспечения автономности устройства, блок питания выполнен в виде химического источника тока, соединен через высокочастотный преобразователь с выпрямителем и размещен в корпусе устройства
257270
Составитель Л. Шестова
Текред Л. В. Куклина Корректор Л. Н. Гаврилова
Редактор В. Н. Торопова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 710/18 Тирагк 480 Поди ис;.oe
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва )К-35, Раушская наб,, д. 4i5
