Способ повышения электропроводности окисно-металлического покрытиявсесоюзная1 л патентно- 1 л'"
250406
О П И С А Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
li0Ios вссетских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 03.1Ч.1967 (№ 1147073/29-33) Кл. 32Ь, 17/22
21с, 2/34 с присоединением заявки №
Приоритет
МПК С 03с
Н 01Ь
УДК 539.23:666.266.31 (088.8) Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Сосете тлииистрое
СССР
Опубликовано 12 Ч!11.1969. Бюллетень № 26
Дата опубликования описания 9.1.1970
Авторы изобретения В. М. Вайнштейн, Е. А. Жуковская, Б. И, Петелии и В. М. Тюшевский
Заявитель
ВСЕСОЮЗНАЯ
ПАТЕНТНО- р
ТЕХНИЧЕСКАЯ
БИБЛИОТЕКА
СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ
ОКИСНО-МЕТАЛЛ ИЧ ЕСКОГО ПОКРЫТИЯ
Предмет изобретения
Изобретение относится к проводящим окисно-металлическим покрытиям на поверхности изделий из стекла, керамики и других материалов.
Известно, что связанный в приповерхностных слоях покрытия кислород оказывает значительное влияние на проводимость покрытия; удаление атомов кислорода приводит к повышению ее.
По предложенному способу атомы кислорода удаляют обработкой покрытий в анодном столбе тлеющего разряда, создаваемого в газовой среде, не содержащей кислорода.
Для защиты покрытия от проникновения кислорода на его поверхность наносят слой неорганического, бескислородного, непроводящего соединения, например нитрида кремния.
Электронная и ионная бомбардировка, которой подвергается поверхность окисно-металлического покрытия, помещенного в плазму тлеющего разряда (анодный столб), приводит к быстрому и эффективному удалению связанных атомов кислорода и к существенному повышению электропроводности покрытия. Температура подложки, на которую нанесено покрытие, в процессе обработки может быть снижена путем простого отвода тепла.
Операция обработки покрытия в анодном столбе тлеющего разряда может быть совмещена с катодным распылением íà его поверхность неорганического, бескислородного, непроводящего соединения, например нитрида кремния, которое закроет доступ кислороду к поверхности окисно-металлического покрытия.
Для стеклянных образцов размером
40+40)(5 мм с прозрачным проводящим по. крытием окиси индия толщиной 0,5 мкм и удельным поверхностным сопротивлением
45 оме режим обработки в плазме тлеющего разряда и одновременного нанесения,прозрачйого, непроводящего покрытия нитрида кремния толщиной до 0,5 мкм был следующим: напряжение между электродами 1 — 10 кв, плотность тока разряда до 1 ма/сме, расстоя15 ние между электродами до 6 см, разряд возбуждали в смеси аргона и не менее 5% азота, катод из кремния.
После обработки удельное поверхностное сопротивление образцов стало равным
20 10 12 омс
1. Способ повышения электропроводности проводящего окисно-металлического покрытия путем удаления связанных на поверхности и в приповерхностном слое последнего атомов кислорода, отличающийся тем, что, с целью увели30 чения стабильности, удаление атомов кислоро250406
Составитель А. Нечаев
Редактор Э. Н. Шибаева Техред Л. К. Малова
Корректор А. П. Васильева
Заказ 3546/12 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва 7К-35, Раушская паб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 да осуществляют обработкой покрытия в анодном столбе тлеющего разряда, создаваемого в газовой среде, не содержащей кислорода.
2. Способ по п. 1, отличшощийся тем, что, с целью защиты покрытия от проникновения кислорода, на его поверхность наносят слой неорганического, бескислородного, непроводящего соединения, например нитрида кремния.
