Станок-полуавтомат для разрезания листовых заготовок полупроводниковых материалов
Сок!з Советских
Со!тиалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл. 49с, 19
49/, 12
Заявлено 26.Хff.1961 (J9 757317,25-8} с присоединением заявки ¹вЂ”
МПК В 23!1
Б 23р
УДК—
Приоритет
Опубликовано 10.Vfl.1969. Б;оллетень № 23
Дата опубликсвания описания 11.XII.1969
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
Ф. Х. Набиуллин, Р. Г. Адамян, Е. М. Герцик, В. M. Долгое, У. И. Ушко, l0. Н. Целов и В. П. Шаранов
Заявитель
СТАНОК-ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ РАЗРЕЗАНИЯ ЛИСТОВЫХ
ЗАГОТОВОК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
В известных станках для разрезания листовых заготовок полупроводниковых материалов на многоугольные пластины режущим инструментом служит быстро вращающийся алмазный диск либо тонкая проволока, смачиваемая абразивной суспензией, а обрабатываемые заготовки крепятся приклеиванием к планшайбе, В предлагаемом станке-полуавтомате для повышения, производительности заготовки надрезают алмазными резцами на многопозиционном поворотном столе, а для крепления заготовок к столу:применены вакуумные присосы. Постоянное соприкосновение резцов с плоскостью резания достигается установкой последних в подпружиненных головках, качающихся в плоскости, перпендикулярной плоскости резания. Станок снабжен вибролотком, в котором заготовки разламываются на пластины.
На фиг. 1 схематически изображен станокполуавтомат (вид сверху); на фиг. 2 — узел установки и крепления алмазного резца.
Станок-.полуавтомат состоит из узла 1 резания, многопозиционного поворотного стола 2, механизма 8 съема, привода 4 и распределительного устройства 5.
Заготовки укладыватот на базовые выступы 6 поворотного стола и центрируют относительно штифтов 7. При создании вакуума в камере 8 и каналах 9 заготовка атмосферным давлением плотно прижимается к поворотному столу. На позициях резания она надрсзается,во взаимно перпендикулярных направле5 ниях.
Алмазный резец 10 зачеканен в оправку, закрепленную стопорным винтом в резцедержателе 11, шарнирно соединенном для изменения угла установки резца с псдпружинен10 ной головкой 12, которая качается в плоскости, перпенд!!кулярной плоскости резания.
Надрезанные заготовки снимаются с поворотного стола 2 механизмом 8 сьема и передаются в вибролоток (на чертеже не показап), где
15 разламываются по линиям надреза.
Для изготовления прямоугольных пласт ин механизмы резания устанавливаются параллельно, а для изготовления пластин треугольной формы нужно установить три механизма резания.
Станок-полуавтомат обладает высокой производительностью. При 20 рабочих тактах в минуту выработка за 7 час составляет 8400 заготовок или, например, ilpo1111ìÿÿ средний диаметр заготовки 40 ттлт, а полезньш выход при производстве фотопреобразсвателей—
65%, суммарная выработка составляет
3,14 4 8400 . 0,65
30 4 10000
Фиг. l
12 ва уу
Фиг, 2
Редактор Н. С. Коган Техред Т. П. Курилко Корректоры: Е. Ласточкина и В. Петрова
Заказ 3254/18 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Станок-полуавтомат прост в обслуживании и наладке, надежен в эксплуатации.
Предмет изобретения
Станок-полуавтомат для разрезания листовых заготовок полупроводниковых материалов на многоугольные пластины, отличающийся тем, что, с целью повышения, производительности, он выполнен в виде многопозиционното гово ротного стола с вакуумными присосами на рабочих и разпрузочных позициях и качающихся в,плоскости, перпендикулярной плос5 кости резания, головок с алмазными резцами, осуществляющими надрезание заготовок, и вибролотка, в котором заготовки разламываются на пластины.
