Патент ссср 248454
т ®СЕсоюенаР1 и тентно-твх ничеоив вт библиотека МЬй
248454
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Соки Соеетскив
Сациалмстическиз
Республик
Зависимое от авт, свидетельства ¹
Заявлено 26.XII.1961 (¹ 757317/25-8) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 10.VII.1969. Бюллетень № 23
Дата опубликования описания 10.XII.1969
Кл. 49с, 19
42l, 12
МПК В 23d
В 23р
УДК
Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
Ф. Х. Набиуллин, Р. Г. Адамян, Е. М. Герцик, В. М. Долгов, У. И. Ушко, Ю. Н. Целов и В. П. Шараиов
Заявитель
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ЛИСТОВЫХ ЗАГОТОВОК
ПОЛУПРОВОДНИKOBbIX МАТЕРИАЛОВ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО
СТРОЕНИЯ
Предмет изобретения
Известные способы разрезания полупроводниковых материалов на многоугольные пластины заключаются в том, что заготовки, приклеенные к,планшайбе, разрезают быстровращающимся алмазным диском либо движущейся проволокой, смачиваемой абразивной суспенз ней.
Сущность изобретения заключается в том, что заготовки .надрезают алмазными резцами в требуемых, направлениях, а затем разламывают по линиям надреза. Разделение на отдельные пластинки происходит под действием внешних сил, вызывающих концентрацию напряжений по линиям надреза.
Применение односторонней надрезки и последующего разламывания .по линиям надрезки для разделения на многоугольные,пластинки полупроводниковых материалов кристаллического строения.
