Интерферометр для контроля правильности формы торических поверхностей
ОП И И Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
247509.
Союз Сооетоких
Социалиотических
Ресдублик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 12.IV.1967 (№ 1147887/25-28) Кл. 42b, 12/02 с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 04Х!1.1969. Бюллетень № 22
Дата опубликования описания 11.XII.1969
МПК 6 Olb
УДК 531.715.1(088.8) Комитет ло делам изобретений и открытий при Соеете 1линистров
СССР
Авторы изобретения
В. А. Зверев и И. М. Долинский
Ленинградское оптико-механическое объединение
Заявитель
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРАВИЛЬНОСТИ
ФОРМЫ ТОРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ
Известны интерферометры для контроля правильности формы торических поверхностей, например, желоба наружного и внутреннего кольца шарикоподшипника, содер>кащие источник излучения, например лазер, разделительный блок, выполненный в виде кубика с полупрозрачной диагональю, эталонное зеркало, объектив и окуляр.
Предложенный интерферометр отличается от известных тем, что он снабжен отражающей системой, выполненной в виде конического зеркала или сочетания конического зеркала с коническим или круговым цилиндрическим зеркалом, расположенной в ходе световых лучей за ооъективсм таким образом, что геометрическая ось каждого зеркала системы совпадает с оптической осью объектива.
Такое выполнение интерферометра позволяет повысить производительность контроля правильности формы торических поверхностей.
На фиг. 1 дана принципиальная схема описываемого интер ферометра, настроенного на контроль желоба наружного кольца шарикоподшипника; на фиг. 2 — интерферометр, настроенный на контроль желоба внутреннего кольца шарикоподшипника.
Интерферометр содержит источник 1 излучения, например газовый лазер, разделительный блок, например полупрозрачную пластину 2, эталонное зеркало 8, объектив 4, окуляр 5 с сеткой б и отражающую систему, выполненную в виде конического зеркала 7 с наружной отражающей поверхностью или в виде сочетания конического илп цилиндрического зеркала 8 с коническим зеркалом 9 с внутренней отражающей поверхностью, причем геометрическая ось каждого зеркала системы совпадает с оптической осью объектива 4.
Интерферометр работает следующим обра10 зом.
Пучок лучей от источника 1 направляется на полупрозрачную пластину 2, которая разделяет его на два пучка. Один пучок попадает на плоское эталонное зеркало 8 и, отразившись от него, направляется в окуляр 5, а другой — идет в объектив 4 и далее на коническое зеркало 7 (или на сочетание конического или цилиндрического зеркала 8 с «оническим зеркалом 9), преобразующее изоб20 ра>кенпе, даваемое объективом, в кольцевую линию, совпадающую с геометрическим местом центров кривизны образующих окружностей торической поверхности кольца шарикоподшипника 10.
25 После огра>кения от поверхности кольца 10 пучок идет в обратном направлении. Отражающая поверхность зеркала 7 (или сочетание зеркал 8 и 9) направляет пучок лучей в объектив 4.
30 Из объектива 4 пучок идет на полупрозрачную пластину 2, отражаясь от которой интерферирует с первым пучком и направляется в
247509
Составитель В. Мартынов
Техред А. А. Камышникова Корректор С. М. Сигал
Редактор Г, Гончарова
Заказ 3188!14 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров CCCP
Москва 5К-35, Раушская наб., д. 4, 5
Типография, пр. Сапунова, 2 окуляр 5. Оба пучка фокусируются на диафрагму 11, непосредственно за которой находится глаз наблюдателя. При правильной геометрии поверхности кольца 10 наблюдатель видит равномерное освещенное поле. ОтклоHpíHå формы поверхности контролируемого кольца от идеальной приводит к появлению в поле зрения наблюдателя интерференционных полос и их деформации. По числу видимых полос и по величине их деформации можно определить величину отклонения контролируемой поверхности от идеальной.
Предмет изобретения
Интерферометр для контроля правильности формы торических поверхностей, например, желоба наружного и внутренного кольца шарикоподшипника, содержащий источник излучения, например газовый лазер, разделительный блок, например полупрозрачную пластинку, эталонное зеркало, объектив и окуляр, в поле зрения которого наблюдается интерференционная картина, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности контроля, он снабжен отражающей системой, выТ0 полненной в виде конического зеркала или сочетания конического зеркала с коническим или круговым цилиндрическим зеркалом, расположенной в ходе световых лучей за объективом таким образом, что геометрическая ось каждого зеркала системы совпадает с оптической осью объектива.
