Радиоизотопный способ контроля толщины

О Й Й "С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союа Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 30.Ill.1967 (№ 1145739/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11Х1.1969. Бюллетень № 20

Дата опубликования описания 12.XI.19б9

Кл. 21@, 21/13

42b, 11

МПК G 21

G 01b

УДК 621.039.84:531..717 (088.8) Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Автор изобретения

В. С. Меркулов

Заявитель

РАДИОИЗОТОПНЫЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ

Предмет изобретения

Известен радиоизотопный способ контроля тонких образцов (фольги, пленки) путем их просвечивания альфа-частицами. Однако эффективность и точность контроля толщины методом просвечивания невысока.

Отличием предложенного способа контроля толщины посредством просвечивания образца потоком а-частиц является то, что путем ограничения номинального значения контролируемой величины в определенном диапазоне толщин контроль осуществляется через измерение пробегов двух разноэнергетических групп а-частиц. Разность этих пробегов характеризует диапазон допустимых значений контролируемой величины, определяемый через регистрацию а-частиц, прошедших сквозь образец. Прп допустимых значениях толщины в приемник попадает группа а-частиц с большим пробегом. При значениях толщин, меньше предельно допустимого, приемник зарегистрирует обе группы а-частиц. При значениях толщин, превышающих предельно допустимое, обе группы а,-частиц не достигают приемника.

Радиоизотопный способ контроля TOJILUHHbf

1О посредством просвечивания материалов потоком альфа-частиц, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности в заданном диапазоне толщин, просвечивание контролируемого материала производят пото15 ком двух групп альфа-частиц с различной энергией примерно равной интенсивности, и по интенсивности зарегистрированного излучения судят об отклонениях от заданного параметра.