Устройство для нагрева подложек
240059
ОЛИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 14.I I.1968 (№ 1218375/26-9) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 21.111.1969. Бюллетень ¹ 12
Дата опубликования описания 19Х111.1969
Кл. 21а4, 75
МПК Н 05k
УДК 621.78.06 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий ври Совете Министров
СССР д- !
А. A. Романов, А. А. Андреев н В. Н. Козлов - /
Авторы изобретения
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАГРЕВА ПОДЛОЖЕК
Известны устройства для нагрева подложек, содержащие нагреватель и металлическое основание. Однако они не обеспечивают постоянной и îднородной температуры подложки.
Описываемое устройство отличается от известных тем, что в нем между основанием и подложкой .помещен слой легкоплавкого материала.
Это о беспечивает постоянную однородную температуру подложки.
На чертен(е изображена KoHcTpукция предлагаемого устройства.
Подложка 1 прикреплена удголкам и 2 к массивному основанию 8, а между основанием и подложкой помещен тонкий слой легкоплавкого материала 4 (например олова или галлия). При нагревании основания материал плавится и заполняет микронеровности на обеих поверхностях, обеспечивая тепловой контакт по всей поверхности подложки, что приводит к быстрому ее разогреву.
Расплавленный материал (металл) удерживается между подложкой и основа инеем силами сцепления и поверхностного натяжения.
Предмет изобретения
Устройство для нагрева подложек в вакууме, содержащее нагреватель и металлическое основание, параллельно которому расположена подложечка, отличающееся тем, что, с целью
15 обеспечения постоянной и однородной температуры подложки, между основан ием и подложкой помещен тонкий слой легкоплавкого матери ал а.
240059
Составитель В. Василькевич
Техред T. П. Курилко Корректор А. С. Колабин
Редактор В. Кузнецов
Типография, пр, Сапунова, 2
Заказ 1808/l3 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
