Способ определения удельного переходного

ОПИСАНИЕ

ИЗ ОБ Р ЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

239425

Союз Советских

Социалистических

Республик

BBT сви

Заявлено 20.1Х.1967 (№ 1184639/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 18.111.1969. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 25Л !!.1969

Кл. 21е, 29/01

МПК G 01г

УДК 621 317.33(088 8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров ссср

Авторы изобретения

В. В. Заддэ и А. К. Зайцева

Заявитель

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ПЕРЕХОДНОГО

СОПРОТИВЛЕНИЯ МЕЖДУ ПОЛУПРОВОДНИКОМ

И НАНЕСЕННЫМИ НА ЕГО ПОВЕРХНОСТЬ

КОНТАКТАМИ ИЗВЕСТНОЙ ПЛОЩАДИ

Предлагаемый способ относится к области электроизмерений.

Известен четырехзондовый способ измерения переходного удельного сопротивления полупроводниковых материалов путем подключения источника постоянного тока к торцам образца материала, измерения тока в цепи образца и падения напряжения на всем образце и между подсоединенными к нему зондамии.

Отличие описываемого способа заключается в том, что наносят на полупроводник контакты в количестве не менее четырех, измеряют падение напряжения между двумя внутренними контактами при подключении внешних к источнику питания и при подключении одного внутреннего и одного внешнего контактов к источнику питания, а затем по известной формуле вычисляют удельное переходное сопротивление.

Такое отличие позволяет значительно повысить точность измерения и упростить способ, сделав его независимым от величины площади, контактов и расстояния между ними.

На чертеже представлена схема устройства, которая поясняет описываемый способ, где К1 и Кз — ключи; 1 и 2 — позиции ключей; 8, 4, 5 и б — контакты определенной площади, нанесенные на поверхность полу. проводника.

Пропуская постоянный ток заданной величины 1 через два внешних контакта ? и б, 0IIределяют падение напряжения на двух внутреннпх контактах 4 и 5.

5 U=I R„, где R„ — сопротивление полупроводника между 1 Онтактами 4 и 5. В этом случае ключи К1 и К. находятся в позиции 1.

Затем измеряют переходное сопротивление контакта и сопротивление материала между

10 контактами 4 и 5.

1- =I(R„+R„.), где с? )U на величину падения напряжения на соответствуюшем переходном контактном сопротивлении RÄ. В этом случае ключ К1 переключается в позицию 2

)s для контакта 4 и соответственно затем для контакта 5, 1 л10ч К перекл1oчaerся В позицию

2, а ключ К1 возвращается в позицию 1.

Зная величину R,. и площадь контакта S,. определяют величину удельного переходного

20 контактного сопротивления SK (ол с.и- ).

Предмет изобретения

Способ определения удельного переходного сопротивления между полупроводником н на25 песенными на его поверхность контактами известной площади, основанный на четырехзондовом методе, отлича1оцийся тем, 1то, с целью повышения точности измерения, наносят на полу проводник 1 Онтякты В количестве не ме30 нее четырех, измеряют падение напряжения

239425

Составитель В. Скоморохов

Редактор С. И. Хейфиц Тсхред Л. Я. Левина Корректоры, В. Петрова и А. Николаева

Заказ 1687!18 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр, Серова, д 4

Типография, пр. Сапунова, 2 между двумя внутренними контактами при подключении внешних к источнику питания и при подключении одного внутреннего и одного внешнего контактов к источнику питания, а затем по известной формуле вычисляют удельное переходное сопротивление.