Способ контроля шероховатости поверхности изделия
Изобретение относится к измерительной технике, касается оптических способов контроля шероховатости поверхности изделия. Импульс света Тсв освещает контролируемую поверхность, рассеянное/отраженное излучение пропускают через акустооптический (АО) модулятор, в котором распространяется бегущий акустический импульс Так. Излучение, продифрагированное на этом акустическом импульсе, регистрируется фотодетектором, при этом синхронизируются импульсные режимы освещения и возбуждения АО-модулятора и можно добиться управляемого медленного и подробного сканирования исследуемого рассеянного излучения пошагово от такта к такту. О параметрах шероховатости поверхности изделия судят по отклонению измеренных параметров оптического потока контролируемой детали и эталонного образца. Технический результат: расширение функциональных возможностей и повышение точности измерений. 2 з. п. ф-лы, 4 ил.
Таблицыс
Формула изобретения
1. Способ контроля шероховатости поверхности изделия, заключающийся в том, что направляют коллимированное световое излучение на контролируемую поверхность, регистрируют с помощью фотодетектора интенсивность отраженного от контролируемой поверхности излучения и определяют шероховатость поверхности изделия, направляют на акустооптический модулятор излучение, рассеянное от контролируемой поверхности, фокусируют с помощью линзы излучения, продифрагированное и непродифрагированное на бегущем акустическом импульсе, производят Фурье-преобразование амплитудного распределения излучения в фокальной плоскости линзы, определяют индикатриссу рассеяния путем установки фотодетектора на первый порядок дифракции и по результатам сравнения ее с эталонной судят о шероховатости поверхности изделия, отличающийся тем, что световое излучение формируют в импульсном режиме, синхронизируют бегущие акустические и световые импульсы.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что дополняют бегущий акустический импульс другими акустическими импульсами и формируют для каждого светового импульса импульсную последовательность из нескольких акустических импульсов.3. Способ по пп.1 и/или 2, отличающийся тем, что управляют параметрами импульсной последовательности акустических импульсов и/или параметрами процесса синхронизации акустических и световых импульсов.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14