Способ изготовления печатных плат ратникова в.и.
Предлагаемый способ относится к технологии изготовления печатных плат и может быть использован в серийном производстве печатных плат, радиоэлектронной аппаратуры и во многих других областях промышленности. Способ содержит операции сверления отверстий в диэлектрической заготовке, подготовки ее поверхности, одновременного осаждения меди на диэлектрическое основание и на стенки отверстий до необходимой толщины путем разложения паров карбонилхлорида меди, CuCoC1, формирования рисунка печатной платы из фоторезиста, удаления резиста и стравливания слоя металла с пробельных мест. Это позволит повысить качество и надежность работы печатных плат, снизить трудоемкость и стоимость их изготовления.
Изобретение относится к области технологии изготовления печатных плат и может быть использовано в производстве печатных плат, радиоэлектронной аппаратуры и в других областях промышленности.
Известен способ изготовления печатных плат (патент Франции N 2385295, кл. H 05 K 3/18, 1978), который включает операции химического осаждения из водных медьсодердащих растворов тонкого слоя меди (около 3 мкм) на диэлектрическое основание и на стенки просверленных отверстий с последующим получением рисунка печатной платы из фоторезиста и гальванического наращивания проводников на поверхности платы и в отверстиях. После удаления резиста производится химическое стравливание тонкой пленки меди с пробельных мест платы. Адгезионная способность поверхности диэлектрика повышается специальной обработкой кремнийорганическими соединениями, использованием диэлектрика с обогащенным поверхностным слоем эпоксидной смолы и нанесением на диэлектрик адгезива. Недостатком этого способа является невысокое качество и ненадежность плат в работе, большая трудоемкость и стоимость их изготовления. Наиболее близким, выбранным в качестве прототипа предлагаемого способа изготовления печатных плат, является способ изготовления печатных плат (авт. св. СССР N 940323, кл. H 05 K 3/18, приоритет от 4.03.80), включающий операции сверления отверстий в диэлектрической заготовке, подготовки ее поверхности, одновременного осаждения подслоя металла на диэлектрическое основание и на стенки отверстий, формирования рисунка печатной платы из фоторезиста, гальванического наращивания проводников на поверхности печатной платы и в отверстиях, удаление резиста и стравливания подслоя металла с пробельных мест, а осаждение подслоя металла производят разложением паров тетракарбонила никеля при давлении 50 - 100 Па и температуре источника паров 20 - 35oC на нагретое до 130 - 200oC диэлектрическое основание. Недостатком этого способа изготовления печатных плат является их низкое качество и ненадежность в работе. Электрические проводники, выполненные из никеля и гальванической меди обладают плохими электротехническими свойствами, подвергаются короблению, а медь имеет большую пористость и плохая по чистоте. Такие печатные платы очень трудоемки и дороги в изготовлении и не отвечают всем современным требованиям предъявляемым к ним. Поэтому этот способ не нашел применения в промышленности. Целью предлагаемого способа изготовления печатных плат является повышение их качества и надежности в работе. А также снижение трудоемкости и стоимости изготовления. Поставленная цель в предлагаемом изобретении достигается тем, что осаждение металла до необходимой толщины производят разложением паров карбонилхлорида меди, CuCoCl, при вакууме 1
Формула изобретения
Способ изготовления печатных плат, включающий операции сверления отверстий в диэлектрической заготовке, подготовки ее поверхности, одновременного осаждения металла на диэлектрическое основание и на стенки отверстий, формирования рисунка печатной платы из фоторезиста, удаления резиста и стравливания слоя металла с пробельных мест, отличающийся тем, что осаждение металла до необходимой толщины производят разложением паров карбонилхлорида меди CuCoCl, при давлении 1