Полировальный автомат

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕт НИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2I0692

Союэ Советских

Социалистических

Респхолик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 21.Ч.1966 (J% 1077582/25-8) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 06.11.1968. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 25Л П.1968

Кл. 67а, 13

МПК В 24b

УДК 621.924.3:621. .315.592 (088.8) комитет по делам иаооретеиий и открытий при Совете Мииистров

СССР

Авторы изобретения Ф. Х. Набиуллин, В. П. Сазонов, Е, М. Герцик и В. А. Рабинович

Заявитель

ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ АВТОМАТ

i1

Известны полировальные автоматы для обработки твердых материалов, например, полупроводников, содержащие полировочные диски, штоки с вакуумными присосками, транспортирующие заготовки в процессе полирования, вакуумные клапаны и питатель для поштучной выдачи заготовок. Однако в авто»атах такого типа на полируемой поверхности образуются мельчайшие диски-волосовины.

Кроме того, при развакуумировании полости штоков, например, в процессе полирования, торцы штоков касаются полировочных дисков, что приводит к износу торцов и засорению вакуумных присосов.

Описываемый автомат отличается тем, что вакуумные присоски выполнены вращающимися на штоках и снабжены шестерней, входящей во время полирования в зацепление с коронной шестерней. Это повышает качество полирования и устраняет микрориски. Кроме того, с целью предотвращения касания торца вакуумной присоски с полировальными дисками в случае выпадения заготовки в процессе полирования, штоки снабжены профильной канавкой, взаимодействующей с защелкой вакуумного клапана.

На фиг, 1 изображен описываемый полировальный автомат в разрезе; на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг. l.

Заготовки помещают в кассету 1, из которой их поштучно подает механизм 2. При совмещении оси заготовки, находящейся на рабочей позиции механизма 2 со штоком 8 через вакуумно-распределительное устройство 4 и соответствующий клапан 5 в присоске б создается разряжение. Заготовка присасывается к присоске б, покрытой тонкой твердой резиной 7.

При вращении ротора 8 шток 8, ролик 9 кото10 рого находится на копире 10, опускается и шестерня ll вакуумной присоски б входит в зацепление с коронной шестерней 12. Обкатываясь по ней, вакуумная присоска б начинает вращаться.

15 Таким образом, заготовка в процессе полирования, кроме поступательного движения относительно вращающихся полировальных дисков 18, вращается и относительно своей оси.

Шток 8 в верхней части имеет профильную

20 канавку. В случае выпадения диска во время полирования полость вакуумной присоски б соединяется с атмосферой. Пружина 14 выдвигает клапан 5, защелка 15 попадает в профильную канавку и удерживает шток 8 от

25 опускания на диски 18.

Предмет изобретения

1. Полировальный автомат для обработки твердых материалов, например, полупроводни30 ков, содержащий полировочные диски, штоки

210692

3. с вакуумными присосками, транспортирующие заготовки в процессе полирования, вакуумные клапаны и питатель для поштучной выдачи заготовок, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, вакуумные присоски снабжены шестерней, входящей во время полирования в зацепление с коронной шестерней.

2. Автомат по пункту 1, отличающийся тем, что, с целью предотвращения касания. торцов вакуумных присосок с полировальными дисками при развакуумировании на штоках вакуумных присосок нарезаны профильные канавки, взаимодействующие с защелками вакуумных клапанов, отключающих штоки от осевого перемещения.

210692

Составитель О. Леонтьева

Ре,фактор А, Шиллер Техред А. А. Камышникова Корректоры: И. Л. Кириллова и Л. В. Юшина

Заказ 1390/6 Тираж 530 Подписно

Ц11ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серсва, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2