Источник ионов
Авторы патента:
Использование: в технологии электромагнитного разделения изотопов. Сущность изобретения: в источнике ионов, содержащем электронно-оптическую систему, термокатод, газоразрядную камеру, тигель с рабочим веществом, нагреватель выполнен из графитовой ленты, уложенной в виде полого прямоугольного параллелепипеда с пазами, размещенной вокруг блока тигель-газоразрядная камера. 1 з.п. ф-лы, 4 ил., 1 табл.
Изобретение относится к источникам ионов и может быть использовано в технологии электромагнитного разделения изотопов.
Имеются различные типы ионных источников в том числе высокотемпературных (R. Kirchner. Progress in ion source develop- ment for on-line separator. "Nucl. Instr. and Meth.", 1981, 186, N 1-2, 275-293), применяемые вследствие их малой производительности в большинстве случаев для исследовательских целей. Для промышленного электромагнитного разделения изотопов в основном применяются ионные источники калютронного типа, использующие нагрев рабочего вещества и газоразрядной камеры тепловым излучением от нагревателей активного сопротивления (Li Gondpan, et al. Some experimental stadies of the calutron ion source. "Nucl. Instr. and Meth.", 1981, 186, N 1-2, 353- -356). Однако их рабочие температуры невелики и не превышают 1000oC (Xia Meigin, et al. Electromagnetic separation of stable isotopes at china institute of atomic energy; J. G.Tracy and W.S.Aaron. Stable Isotope enrichment carrent and future potential. For presentation at the 16th World Conference of the International Nuolear Target Development Society, Sgptombcr 21-25, 1992, Padova, Italy). Известен источник ионов для промышленного разделения изотопов в 180-градусном электромагнитном сепараторе (Н.А.Кащеев, В.А.Дергачев. Электромагнитное разделение изотопов и изотопный анализ. М, Энергоатомиздат, 1989, c. 13-15), который содержит ионно-оптическую систему, термокатод с нитью накала, газоразрядную камеру и тигель с рабочим веществом. Для создания необходимого давления паров рабочего вещества и устойчивого горения разряда газоразрядная камера и тигель нагреваются тепловым излучением от ленточного и циллиндрического нагревателей активного сопротивления. В качестве материала нагревателей используется нержавеющая сталь, тантал, молибден и графит. Недостатком такого ионного источника, как и у калютрона, является невысокая температура, не превышающая в области нагрева 1000oС, что ограничивает применение в качестве рабочего вещества многих химических элементов и соединений, имеющих более высокую рабочую температуру парообразования (никель, палладий и др.). Дальнейшее увеличение мощности, подводимой к нагревателям, дает незначительное увеличение температуры вследствие низкой эффективности нагрева, а также приводит к выходу нагревателей из строя по причине возникновения больших токов в их низкоомной цепи. Технический результат изобретения увеличение температуры нагрева тигля и газоразрядной камеры ионного источника до 2000oС для получения необходимого для функционирования дугового разряда давления паров слаболетучих химических элементов и соединений путем увеличения мощности нагревателя и повышения эффективности нагрева. В предложенном источнике ионов указанный технический результат реализуется за счет объемной конструкции высокоомного нагревателя, изготовленного из цельного куска графита в форме полого прямоугольного параллелепипеда, внутри которого (в рабочем объеме нагревателя) помещаются совмещенные в один блок тигель и газоразрядная камера. Стенки прямоугольного параллелепипеда фрезерованы таким образом, что образуют непрерывную ленту, имеющую на порядок большую длину по сравнению с его габаритными размерами, такую, что излучающая внутрь поверхность графитовой ленты составляет не менее 3/4 площади блока тигель-газоразрядная камера. Использование графита и большая эффективная длина нагревателя увеличивают его сопротивление и позволяют в несколько раз повысить выделяемую на нем тепловую мощность, а большая теплоизлучающая поверхность нагревателя, обеспечивает незначительный перепад температуры (не более 150oС) между нагревателем и нагреваемым блоком и удовлетворительный ресурс его работы (не менее 1000 ч). Дальнейшее увеличение длины графитовой ленты при фиксированных габаритных размерах нагревателя приводит за счет увеличения общей площади пазов к уменьшению его излучающей поверхности и, согласно изображенного ниже графика, к быстрому снижению эффективности нагрева. На графике (фиг.1) показана разность температур нагревателя и блока тигель-газоразрядная камера (Тн-Тбл), когда температура на последнем составляет 2000oС, в зависимости от отношения площадей поверхности нагревателя и блока (Sн/Sбл). Снижение указанного отношения, например до 5/8, приводит к увеличению температуры нагревателя и за счет этого, к резкому до 100- 200 часов уменьшению ресурса его работы, определяемому временем испарения 1 мм его толщины, а также к быстрому снижению механической прочности нагревателя. На фиг. 2 в вертикальном сечении показан ионизатор, содержащий тигель 1, газоразрядную камеру 2 и термокатод 3 с нитью накала 4. Полость 5 тигля 1, закрытая резьбовой пробкой 6, содержит рабочее вещество 7 и соединяется с полостью 8 газоразрядной камеры 2 через паропропускное отверстие 9. Газоразрядная камера 2 имеет амбразуру 10, расположенную под термокатодом, и узкую вертикальную щель 11. На фиг. 3 в изометрии показана конструкция графитового нагревателя 12 с токопроводами 13. На фиг. 4 в горизонтальном сечении изображена схема расположения основных элементов конструкции ионного источника и получения ионного пучка. Она содержит блок газоразрядной камеры 2 и тигля 1, помещенный в нагреватель 12, основание 15 с тепловыми экранами 14, а также ионно-оптическую систему 16. Рабочее вещество 7 загружают в графитовый тигель 1, полость 5 которого заглушают резьбовой пробкой 6. Тигель совмещают с графитовой газоразрядной камерой 2 соединением типа "ласточкин хвост". Этот блок помещают в рабочий объем графитового нагревателя 12, изготовленного в виде уложенной в форме полого прямоугольного параллелепипеда ленты таким образом, что эффективная длина ленты (900 мм) на порядок превышает габаритные размеры параллелепипеда (45


Формула изобретения
1. Источник ионов дня электромагнитного масс-сепаратора, содержащий ионно-оптическую систему, термокатод с нитью накала, газоразрядную камеру, тигель с рабочим веществом и нагреватель, отличающийся тем, что нагреватель выполнен в виде графитовой ленты, уложенной в форме полого прямоугольного параллелепипеда, охватывающей с пяти сторон совмещенные в единый блок тигель и газоразрядную камеру. 2. Источник по п.1, отличающийся тем, что эффективная длина графитовой ленты выбрана такой, чтобы излучающая внутрь поверхность нагревателя была не менее 3/4 площади поверхности блока тигель газоразрядная камера.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5
Похожие патенты:
Электрогидродинамический источник ионов // 2036531
Изобретение относится к устройствам для получения пучков заряженных частиц, в частности ионов, заряженных кластеров и микрокапель, и может быть использовано для получения с последующим формированием субмикронных ионных пучков, находящих все более широкое применение при микрообработке распылением; микроанализе и растровой ионной микроскопии; прямом безмасочном легировании полупроводников; в ионной литографии, а также для нанесения тонких пленок и покрытий кластерными и микрокапельными пучками
Изобретение относится к технике получения пучков ускоренных частиц, в том числе к технологии обработки изделий пучком большого сечения ускоренных частиц в вакууме с целью очистки и нагрева изделий для повышения адгезии наносимых покрытий, с целью упрочнения и модификации поверхности имплантацией ускоренных частиц, а также для полировки поверхности и распыления материалов
Источник ионов // 2034356
Изобретение относится к источникам ионов, может быть использовано в технологических целях для имплантации ионов, электромагнитного разделения изотопов и в других приложениях
Изобретение относится к ионно-плазменной технике и может быть использовано для получения ленточных пучков ионов, применяемых для ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого травления материалов, очистки, активации и полировки поверхности деталей, а также для нанесения пленок в вакууме
Изобретение относится к области масс-спектрометрического анализа
Источник многозарядных ионов // 1395030
Изобретение относится к ионной технологии формирования поверхности оптических деталей
Источник ионов // 1356874
Изобретение относится к физики заряженных частиц и может быть использовано как источник частиц при легировании и ионной имплантации полупроводников и других материалов
Генератор пучка убегающих электронов // 1259884
Устройство для ионно-лучевой обработки // 1210607
Изобретение относится к устройствам для получения ионных пучков с большим поперечным сечением и может быть использовано для различных технологических операций на базе ионно-лучевой обработки материалов в вакууме
Твердотельный эмиттер ионов калия // 1663641
Изобретение относится к технике получения пучков ионов, а именно ионов щелочных металлов
Источник ионов газов // 1625254
Изобретение относится к устройствам для получения интенсивных пучков ионов газов и может быть использовано для ионно-лучевой технологии в вакууме
Источник заряженных частиц // 1616412
Изобретение относится к технологическим газоразрядным источникам заряженных частиц
Источник ионов // 1531745
Изобретение относится к разработке источников ионов и может найти применение в радиационной физике, для модификации физико-химических свойств металлов и сплавов, диэлектриков и полупроводников методом ионной имплантации
Изобретение относится к отжигу полупроводниковых пластин и может быть использовано в технологических линиях по изготовлению приборов
Изобретение относится к ускорительной технике.- Цель изобретения - упрощение конструкции за счет уменьшения Э1)фективного змнттанса пучка ионов, в одиночной лннзе ионно-оптнческой системы, содержащей три последовательно и соосно расположенных цилиндрических злектрода, в выходном торце последнего цилиндрического злектрода линзы расположена диафрагма с центральным отверстием, диаметр d которого и длина L злектрода удовлетв оряют соотношениям d 0,25-0,4D, L 0,2-0,31), где D - апертура линзы
Источник ионов // 1455926
Изобретение относится к источникам ионов и может найти применение в ускорительной технике, в радиационной физике, для улучшения физико-химических свойств полупроводников, диэлектриков и металлов путем имплантации в них различных примесей в виде ускоренных ионов
Источник ионов // 1402185
Изобретение относится к устройствам для получения моноэнергетичных интенсивных пучков ионов различных газов, в том числе активных, и может быть использовано для различных технологических операций в вакууме (травление подложек, нанесение пленок, легирование и т.д.), а также для научных экспериментов
Источник ионов // 1395024
Изобретение относится к ионным источникам и может найти применение в радиационной физике для модификации физико-хпмических свойств материалов методом ионной имплантации
Изобретение относится к поверхностно-плазменным источникам отрицательных ионов, а именно к способам получения отрицательных ионов в поверхностно-плазменных источниках, и может быть использовано в ускорителях заряженных частиц или устройствах для осуществления термоядерного синтеза