Источник многозарядных ионов
Источник многозарядных ионов, содержащий вакуумную камеру, магниты, создающие магнитное поле остроугольной конфигурации, электроды, систему создания плазмы и систему экстракции ионов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности источника и увеличения тока выводимых ионов, источник дополнительно снабжен двухмодовым резонатором, помещенным между одноименными полюсами магнитов, а системы экстракции ионов размещены в сквозных отверстиях, проходящих через полюса магнитов, при этом оси каналов совпадают с осями симметрии магнитов, система создания плазмы выполнена на основе одномодового резонатора, отделенного от двухмодового резонатора стенкой с отверстием для впрыскивания плазмы.
Похожие патенты:
Изобретение относится к ионной технологии формирования поверхности оптических деталей
Источник ионов // 1356874
Изобретение относится к физики заряженных частиц и может быть использовано как источник частиц при легировании и ионной имплантации полупроводников и других материалов
Генератор пучка убегающих электронов // 1259884
Устройство для ионно-лучевой обработки // 1210607
Изобретение относится к устройствам для получения ионных пучков с большим поперечным сечением и может быть использовано для различных технологических операций на базе ионно-лучевой обработки материалов в вакууме
Источник многозарядных ионов // 1136669
Газоразрядная электронная пушка // 1126128
Ионный источник масс-спектрометра // 965225
Ионная пушка // 854198
Способ получения потока ионов // 791104
Изобретение относится к технике создания интенсивных ионных потоков и пучков и может быть использовано при определении показателей надежности (ресурса) различных ионных источников, в частности, ионных двигателей
Изобретение относится к плазменной технике, а более конкретно - к плазменным источникам, предназначенным для генерации интенсивных ионных пучков, и к способам их работы
Дуоплазматрон с малым потоком газа на выходе // 2170988
Изобретение относится к источникам заряженных частиц и применяется в ускорительной технике
Лазерный источник ионов // 2206140
Изобретение относится к источникам заряженных частиц и применяется в области ускорительной техники
Источник ионов с эффектом полого катода // 2231163
Изобретение относится к источникам ионов, применяемым на ускорителях заряженных частиц
Изобретение относится к области приборостроения, в частности к технике создания источников ионов, предназначенных для ускорителей заряженных частиц