Устройство для нанесения покрытий в вакууме

 

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для изготовления изделий электронной техники, радиотехники и оптики, в частности для напыления электродов на кварцевые резонаторы. Целью изобретения является повышение равномерности толщины напыляемой пленки. Устройство содержит нагреватель 1, трубопровод 2 с напыляемым материалом 3. Сужение 4 трубопровода 2 расположено в отверстии трубопровода 5, сужение 6 трубопровода 5 лежит на оси 7. На чертеже также показаны герметизирующая крышка 8, штифт 9, кронштейн 10, пружинный элемент 11, винт 12, стержень 13, зазор 14 и подложка 15. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСких сОциАлистических

РЕСПУБЛИК (я)5 С 23 С 14/26, 14/24

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ - -«((ЛР /

7 1Ю

10 (61) 1678899 (21) 4601812/21 (22) 15.11.88 (46) 30.08.92. Бюл,N 32 (71) Киевский политехнический институт им,50-летия Великой Октябрьской социалистической революции (72) Г.Т,Левченко и А.Н.Радзиковский (56) Авторское свидетельство СССР М

1678899, кл. С 23 С 14/26, 1988. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ (57) Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для изготовления изделий электронной

«SU, 1758084 А2 техники, радиотехники и оптики, н частности для напыления электродов на кварцевые резонаторы. Целью изобретения является повышение равномерности толщины напыляемой пленки. Устройство содержит нагреватель 1, трубопровод 2 с напыляемым материалом 3, Сужение 4 трубопровода 2 расположено в отверстии трубопровода 5, сужение 6 трубопровода 5 лежит на оси 7, На чертеже также показаны герметизирующая крышка 8, штифт 9, кронштейн 10, пружинный элемент 11, винт 12, стержень 13, зазор 14 и подложка 15, 1 з,п.ф-лы, 1 ил.

1758084

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для изготовления изделий электронной техники, радиотехники и оптики, в частности для напыления электродов на кварцевые резонаторы, и является усовершенствованием основного изобретения по авт.св. M 1678899.

Целью изобретения является повышение равномерности толщины напыляемой пленки.

Н а чертеже изображено и редла гаемое устройство, общий вид. зом.

Составитель И,Фишель

Редактор Т.Лошкарева Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор О.Кравцова

Заказ 2973 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул.Гагарина, 101

В нагревателе 1 установлен трубопровод 2 с нэпыляемым материалом 3. Сужение

4 трубопровода 2 расположено в отверстии трубопровода 5, сужение 6 трубопровода 5 лежит на одной оси 7 с сужением 4. Трубопроводы 2 и 5 выполнены идентичными, В отверстии трубопровода 2 установлена герметизирующая крышка 8, закрепленная посредством штифта 9 на кронштейне 10.

Трубопроводы 2 и 5 поджаты к герметизирующему элементу пружинным элементом 11, закрепленным с помощью винта 12 на кронштейне 10. На крышке 8 закреплен стержень 13, свободный конец которого расположен с зазором 14 относительно внутренней поверхности сужения 4 трубопровода 2. Подложка 15 установлена нэ оси

7 со стороны сужения 6 трубопровода 5, Устройство работает следующим обраПосле откачки до рабочего вакуума включают нагреватель 1 и нагревают трубопровод 2 с испаряемым материалом до температуры его испарения, Поток испарен5 ного материала проходит через кольцевой зазор 14, сужение 6 и осаждается на подложке 15, формируя на ней пленку, Часть потока, не попадающая на подложку 15, конденсируется на внутренней поверхности

10 трубопровода 5, имеющей более низкую по сравнению с трубопроводом 2 температуру.

После окончания цикла напыления устанавливают новую подложку, трубопроводы

2 и 5 меняют местами, а в трубопровод, 15 установленный в нагревателе 1, дозагружают напыляемый материал. Таким образом, сконденсировавшийся в предыдущем цикле в трубопроводе материал используется в следующем цикле напыления вместе с до20 загруженным материалом.

Данное устройство позволило уменьшить неравномерность толщины напыляемой пленки с = 11 до ба.

Формула изобретения

25 1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме по авт.св.N 1678899, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения равномерности наносимых покрытий, оно снабжено стержнем, расположенным в су30 жении трубопровода с позицией для испаряемого материала с зазором относительно его внутренней поверхности.

2. Устройство по п,1, о т л и ч а ю щ е е-. с я тем, что стержень закреплен на крыш35 ке.