Датчик газоанализатора
Сущность изобретения: датчик содержит кремниевую подложку со сквозным отверстием, покрытым с рабочей стороны датчика мембраной из диоксида кремния. На мембране последовательно расположены пленочный нагреватель, слой диэлектрика, газочувствительный полупроводниковый слой, а также токопроводящие контакты к нагревателю и газочувствительному слою. Отверстие в подложке заполнено окисленным пористым кремнием, концентрация пор в котором от границы раздела с мембраной линейно уменьшается по глубине отверстия от 60 до 20%. 1 ил.
Изобретение относится к приборостроению, а именно к области газового анализа и контроля состава окружающей среды.
Известен полупроводниковый датчик газоанализатора, содержащий керамическую подложку-корпус с нагревателем, на поверхности которой находятся два электрода с нанесенной между ними полупроводниковой пленкой оксида металла [1]. Чаще всего в качестве полупроводникового газочувствительного слоя используют пленки диоксида олова SnO2 с различными легирующими добавками, обеспечивающими селективность датчика к определенным газам при конкретных значениях рабочей температуры. Принцип работы полупроводникового датчика основан на регистрации изменений проводимости слоя оксида металла при адсорбции на его поверхности атомов или молекул детектируемого газа. Недостаток известной конструкции датчика газоанализатора в том, что его функционирование в рабочих (для данного вида анализируемого газа) режимах связано с высоким энергопотреблением (![](https://img.poleznayamodel.ru/chr/8805.gif)
![](https://img.poleznayamodel.ru/chr/8776.gif)
![](https://img.poleznayamodel.ru/chr/8773.gif)
Формула изобретения
ДАТЧИК ГАЗОАНАЛИЗАТОРА, содержащий кремниевую подложку со сквозным отверстием, покрытым с рабочей стороны датчика мембраной из диоксида кремния, на которой последовательно расположены пленочный нагреватель, слой диэлектрической изоляции, газочувствительный полупроводниковый слой, а также токопроводящие контакты к нагревателю и газочувствительному слою, отличающийся тем, что отверстие в подложке заполнено окисленным пористым кремнием, концентрация пор в котором от границы раздела с мембраной линейно уменьшается по глубине отверстия от 60 до 20%.РИСУНКИ
Рисунок 1
Похожие патенты:
Изобретение относится к аналитическому приборостроению, а именно к датчикам состава газа
Датчик концентрации аммиака // 2029292
Изобретение относится к аналитическому приборостроению, а именно к датчикам состава газа
Изобретение относится к области аналитического приборостроения и может быть использовано при разработке сорбционных датчиков для измерения концентрации паров спирта в выдыхаемом воздухе
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для измерения концентрации газовых компонентов, конкретно - к области чувствительной части газочувствительных устройств, и может быть использовано в системах автоматики, аварийной сигнализации, в системах управления печами, в бытовой технике, для контроля окружающей среды
Чувствительный элемент газового датчика // 2011985
Изобретение относится к газовому анализу и газоаналитическому приборостроению, в частности к газовым датчикам с полупроводниковыми чувствительными элементами для анализа горючих газов (предельных и непредельных углеводородов, водорода, паров бензина, ацетона, спиртов и т
Чувствительный элемент газового датчика // 2011984
Изобретение относится к газовому анализу и газоаналитическому приборостроению, в частности к газовым датчикам с полупроводниковыми чувствительными элементами для анализа горючих газов (предельных и непредельных углеводородов, водорода, паров бензина, ацетона, спиртов и т
Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления газовых датчиков
Датчик для контроля примесей в газах // 1837219
Способ экспресс-анализа железной руды // 1828266
Устройство для измерения концентрации газа // 1824566
Датчик состава газа // 2100800
Изобретение относится к аналитическому приспособлению, в частности к монтажным конструкциям датчика состава газа, и может найти применение в области анализа газовой среды
Твердотельный газовый сенсор // 2100801
Изобретение относится к устройствам для контроля параметров газовых сред, в частности к чувствительным элементам газоанализаторов, и может быть использовано для обнаружения и определения концентраций таких горючих и токсичных газов, как, например, H2, CO, C2H5OH, CnH2n+2, H2S, SO2, в горнодобывающей, нефтеперерабатывающей, химической промышленностях, экологии и других отраслях деятельности
Твердотельный газовый сенсор // 2102735
Сенсор паров аммиака // 2110061
Изобретение относится к аналитическому приборостроению и может быть использовано для определения концентрации паров аммиака в атмосфере промышленных объектов и при экологическом контроле
Полупроводниковый датчик газов // 2114422
Изобретение относится к области газового анализа, в частности к полупроводниковым газовым датчикам для контроля токсичных газов
Изобретение относится к аналитическому приборостроению
Сенсор паров ароматических углеводородов // 2119662
Изобретение относится к аналитическому приборостроению и может быть использовано для определения концентрации паров ароматических углеводородов в атмосфере промышленных объектов и при экологическом контроле
Термохимический газоанализатор // 2119663
Изобретение относится к аналитическому приборостроению, а именно к конструкциям малогабаритных датчиков для измерения концентрации горючих газов в окружающей среде
Сенсор паров аммиака // 2123685
Изобретение относится к области поиска перспективных материалов для пьезосорбционных химических сенсоров, используемых при контроле состава газообразных сред: например, окружающей воздушной среды - на предмет присутствия в ней тех или иных загрязнителей или газовых фаз, в частности диоксида серы