Способ изготовления токоведущих дорожек твердых и гибридных схем
О П И С А Н И Е 208057
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социзлистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 04.XI.1966 (№ 1111132/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 29.XII.1967. Бюллетень № 3
Дата опубликования описания 26.II.1968
Кл. 21а:, 75
МПК Н Оlп
УДК 621.3.049,75: 774 (088.8) Комитет по делом изобретениЯ и открытиЯ при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
Б, C. Борисов, А. В. Лубашевский и Е. В. Хренова
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОКОВЕДУЩИХ ДОРОЖЕК
ТВЕРДЫХ И ГИБРИДНЫХ СХЕМ
Известен способ изготовления токоведущих дорожек твердых и гибридных схем, который заключается в том, что подложку покрывают токопроводящим слоем, например, алюминия, наносят маску фотолитографическим методом, вытравливают пробельные участки и удаляют маску. Однако в процессе удаления маски происходит частичное разрушение дорожек.
Описываемый способ отличается тем, что для повышения качества дорожек в качестве материала для изготовления масок используют ванадий.
После напыления на подложку слоя алюминия толщиной до 2 х1к на него вакуумным напылением наносят слой ванадия толщиной
0,2 — 0,3 л к. На ванадий наносят слой кислотостойкого светочувствительного материала на основе диазосоединений. Через фотошаблон производят засыпку ультрафиолетовыми лучами и после проявления получают на пробельных местах участки ванадиевого слоя, свободные от светочувствительного материала.
Ванадий с этих мест удаляют травлением в азотной кислоте, алюминий, находившийся под слоем удаленного ванадия — травлением в щелочи, причем одновременно разрушается и маска из светочувствительного материала.
Ванадий, покрывающий токоведущие дорожки, удаляют растворением в азотной кислоте, и на поверхности подложки остаются только алюминиевые токоведущие дорожки.
Предмет изобретения
Способ изготовления токоведущих дорожек твердых и гибридных схем, основанный на покрытии подложки токопроводящим слоем, например, слоем алюминия, нанесении маски фотолитографическим способом, вытравливании пробельных участков и удалении маски, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества токоведущих алюминиевых дорожек, в качестве материала для изготовления маски используют ванадий, а для удаления маски применяют азотную кислоту.
