Устройство для изготовления пленочных катушек индуктивностей
-Д ЧИТ. ЗЛЛА
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союа Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 02Х11.1966 (№ 1086977/26-9) Кл. 21а4, 75 с присоединением заявки №
Приоритет
МПК Н 01п
УДК 621.3.049.75(088.8) Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 14.1X 1967. Бюллетень № 19
Дата опубликования описания 24.XI.1967
Авторы изобретения
С. В. Козлов и О. А. Рыбинский
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЪ|Х
КАТУШЕК ИНДУКТИВНОСТЕЙ
Известно устройство для изготовления элеМентов печатных схем, например катушек индуктивностей, содержащее вакуумную камеру, снабженную автоматически загружающимися испарителями и дисковым транспортером, служащим для размещения масок и подложек.
Предлагаемое устройство отличается тем, что маски изготовлены из магнитной проволоки прямоугольного сечения, а в качестве фиксаторов масок использованы укрепленные на нижней поверхности дискового транспортера постоянные магниты. Это позволяет упростить процесс изготовления катушек индуктивностей.
На фиг. 1 изображена схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 — спиральная маска и катушка индуктивности, изготовленная с помощью этой маски.
Устройство содержит стандартную вакуумную камеру (на чертеже не показана), снабженную автоматически загружающимися испарителями 1 и дисковым транспортером 2, на котором размещены маски и подложки.
Транспортер представляет собой диск, который вращается на упорном подшипнике 8 и приводится в движение электродвигателем 4.
На нижней поверхности транспортера укреплены фиксаторы масок, представляющие собой постоянные магниты 5 прямоугольной формы. Под магнитами расположены подогреватели подложек из нихромовой проволоки, заключенной в керамические трубки 6.
На транспортере жестко закреплены полки
7, несущие навеску 8 испаряемого вещества.
В момент прохождения полки с навеской над испарителем расположенный рядом с ним упор 9 сбрасывает на веску в испаритель. Испаритель заключен в экран 10, охлаждаемый водой, протекающей по змеевику 11.
Применяемые маски 12 изготовлены из магнитной проволоки прямоугольного сечения, свернутой в плоскую спираль. Геометрические размеры определяют размеры катушки индуктивности и ее параметры, Транспортер продолжает вращаться до тех пор, пока полка не выйдет из зоны действия испарителя, а подложка 18 с маской не окажется точно над испарителем. После этого двигатель отключается и происходит испарение сброшенной навескп и напыление металла на маску. В результате напыления образуется плоская спиральная катушка индуктивности 14.
Предмет изобретения
Устройство для изготовления пленочных катушек индуктивностей, содержащее вакуумную камеру, снабженную автоматически за30 гружающимися испарителями и дисковым
202257
Фиг !
14 13
Составитель Л. Руоинчик
Редактор Н. Громов Техред Т. П, Курилко Корректоры: E. Ф, Полионова и И. Е. Черняк
Заказ 3605/13 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 транспортером, служащим для размещения масок и подложек, отличающееся тем, что, с целью упрощения процесса изготовления катушек индуктивностей, маски изготовлены из магнитной проволоки прямоугольного сечения, а в качестве фиксаторов масок использованы укрепленные на нижней поверхности дискового транспортера постоянные магниты.
