Ан осср ...^ойьлйотг.[/д
О П И С А Н И E 198691
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 42Ь, 12/03
Заявлено 25.1 V.1966 (№ 1075504/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 28.V1.1967. Бюллетень № 14
Дата опубликования описания 18ХШ,1967
МПК б 01Ь
УДК 531.717.521(088.8) Комитет по делзвт изооретений и открытий
АрН С088Т8 INNHHcTjl01
СССР
Автор изобретения
И. Б. Яковкии 1 1 1 Лл ц-.ут;-,, tQ,, " «р
> ЦЯорг, Институт физики полупроводников Сибирского отделения АН ССР
ЬйБЛИОТГЕ,, Заявитель
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОА ЦИЙЬ1 ПЛЕНКИ
В ПРОЦЕССЕ ЕЕ НАНЕСЕНИЯ
Предмет изобретения
Известны способы измерения толщины пленки в процессе ее нанесения. Они заключаются в том, что ультразвуковые колебания вводят в подложку, »а которую наносится пленка, и затем их р ег истр и р уют.
Предлагаемыи способ отличается от известных тем, что в подложку вводят упругие поверхностные колебания, .по затуханию которых судят о толщине наносимой пленки. Этот спосоо упрощает процесс измерения.
На чертеже изображена блок-схема, поясняющая описываемый способ.
С генератора высокой частоты I электрические колебания подаются на устройства 2 для ьозбуждения поверхностных волн. Поверхностные упругие колебания распространяются по двум подложкам 8 и 4: подложка 8 находится в вакууме и на нее осаждается пленка, а подложка 4 выполняет роль линии задержки и аттенюатора. Затухание этих колебаний, по которым судят о толщине наносимой пленки, регистрируется индикатором 5, Способ измерения толщины пленки в процессе ее нанесения, заключающийся во введении ультразвуковых колебаний в подложку, на которую наносится пленка, и последующей их регистрации, отличающлйся тем, что, с целью упрощения процесса измерения, в подложку вводят упругие поверхностные колебания, по затуханию которых судят о толщине наносимой пленки.
198691
Составитель Г. Ф. Корчагина
Редактор Л. М. Жаворонкова Техред Л. Я. Бриккер Корректоры: Г. Е. Опарина и Н. И. Быстрова
Заказ 2709/8 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
