Способ определения парциальных толщин многокомпонентных пленок

О П И С А Н И Е l94I98

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВНДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства Ме—

Кл. 21g, 21/13

Заявлено 03.I I I.1966 (№ 1061995/26-25) с присоединением заявки М

Приоритет

Опубликовано 20.III.1968. Бюллетень М 11

Дата опубликования описания 15Х.19б8

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК 6 21

УДК 539.219.1(088.8) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНЫХ ТОЛЩИН

МНОГОКОМПОНEHTHЫХ ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Изобретение относится к области изучения ядерной структуры веществ путем облучения вещества и измерения характеристик прошедшего излучения.

Известны способы измерения парциальных толщин однокомпонентных пленок, согласно которым пленку облучают заряженными частицами и по измеренному выходу резерфордовского рассеяния от ядер пленки определяют парциальную толщину пленки.

Если же сечения упругого рассеяния заряженных частиц на ядрах элементов пленки известны, то парциальные толщины определяют по площадям пиков в спектре этих частиц.

Описываемый способ состоит в том, что исследуемые пленки берут в количестве, равном количеству компонентов пленки, измеряют выход резерфордовского рассеяния частиц на ядрах компонентов, измеряют площади пиков в спектре упругого рассеяния заряженных частиц на ядрах пленки и по полученным результатам и соответствующим уравнениям получают величины парциальных толщин.

Благодаря этому можно измерять парциальные толщины многокомпонентных пленок без знания сечений упругого рассеяния частиц на ядрах компонентов, что упрощает

5 измерение и повышает точность, 10 Способ определения парциальных толщпп многокомпонентных пленок, состоящий в том, что исследуемые пленки подвергают облучению заряженными частицами, измеряют площади пиков в спектре упругого рассеяния за15 ряженных частиц на ядрах пленки и по полученным результатам и соответствующим уравнениям получают величины парциальных толщин, отличающийся тем, что, с целью прощения и повышения точности измерений, иссле20 дуемые пленки берут в количестве, равном количеству компонентов пленок, и измеряют общий выход резерфордовского рассеяния частиц на ядрах компонентов пленок,