Способ изготовления металлических микроэлектродов в кварцевой изоляции

О П И С А Н И Е l90524

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09.Х.1965 (№ 1031471/31-16) с присоединением заявки №

Кл. 30а, 4/01

30а, 13/02

Заявитель

Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МИКРОЭЛЕКТРОДОВ В КВАРЦЕВОЙ ИЗОЛЯЦИИ

Известны способы изготовления металлических микроэлектродов в кварцевой изоляции.

Однако эти способы не обеспечивают равномерного покрытия металлической части электрода кварцевым стеклом, поэтому между металлом и кварцем возникает зазор.

Предлагаемый способ отличается от указанных тем, что, с целью равномерного покрытия металлической части электрода кварцевым стеклом, придания необходимой формы микроэлектроду и устранения зазора между металлом и кварцем, кварцевый капилляр с помещенным в него металлом, например платиной, растягивают с предварительным нагревом в зоне расположения металла до температуры расплавления металла и размягчения кварца, а после охлаждения заготовок зазор между металлом и кварцем заполняют под вакуумом полимерным материалом с высоким объемным сопротивлением.

Для получения надежного и низкоомного контакта между металлической частью микроэлектрода и контактным проводником, последний вводится в кварцевый капилляр до соприкосновения с предварительно разогретой до температуры плавления контактного проводника металлической частью микроэлектрода.

При изготовлении металлических микроэлектродов кусочек проволоки, например платиновой, диаметром 0,5 мм и длиной 0,5 — 1,0мм помещают в середину кварцевого капилляра диаметром 1,5 — 2,0 лтм и длиной 7 — 8 слт. Медленно вращая капилляр в пламени микрогорелки, добиваются расплавления платины и размягчения кварца. Затем капилляр растягивают так, чтобы капля платины, заполнившая часть его объема, распределилась поровну в обоих растянутых отрезках. К полученным заготовкам припаивают тонкий кварцевый капилляр, вновь расплавляют платину и медленно с постепенным ускорением оттягивают кончик электрода, одновременно выводя его из зоны нагрева. Ввод изготовляют из мед15 ной проволоки сплавлением ее с металлической частью микроэлектрода.

Так как металл и кварц имеют различные коэффициенты линейного расширения, при охлаждении между платиной и кварцем образу20 ется зазор, для устранения которого несколь«о электродов помещают в пробирку, заполненную эпоксидной смолой с отвердителем и снабженную нагревательной спиралью. Пробирку помещают в вакуумную установку и

25 при остаточном давлении 10 з — 10 4 млт рт. ст. расплавляют смолу. Через 10 — 30 лтин (в зависимости от количества отвердителя) электроды вынимают. С поверхности стекла смолу снимают бензолом, а кончик микроэлек30 трода обрезают под микроскопом скальпелем.

190524

Предмет изобретения

Составитель В. А. Таратута

Редактор А. И. Пименова Техред T. П. Курилко Корректоры: О. Б. Тюрина и . М. Белугина

Заказ 4460/8 Тираж 535 Подп. к пел. 31.1.1967. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

1. Способ изготовления металлических микроэлектродов в кварцевой изоляции, отличающийся тем, что, с целью равномерного покрытия металлической части электрода кварцевым стеклом, придания необходимой формы микроэлектроду и устранения зазора между металлом и кварцем, кварцевый капилляр с помещенным в него металлом, например платиной, растягивают с предварительным нагревом в зоне расположения металла до температуры расплавления металла и размягчения кварца, а после охлаждения заготовок зазор между металлом и кварцем заполняют под вакуумом полимерным материалом с высоким объемным сопротивлением.

5 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения надежного и низкоомного контакта между металлической частью микроэлектрода и контактным проводником, последний вводится в кварцевый капилляр до

10 соприкосновения с предварительно разогретой до температуры плавления контактного проводника металлической частью микроэлектр ода.