Раствор для химического травления меди
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
{я)л С 23 F 1/18
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
1" Иве
4 O л (21) 4828443/26 (22) 14.02.90 (46) 07.04.93. Бюл. М 13 (71) Особое конструкторское бюро при Заводе "Процессор" (72) О;В.Долина, Т.В.Преснякова, И,П.Скотникова и И.А.Пономарев (56) Патент США М 4130454, кл. С 23 Р 1/02, опублик. 1978.
Патент США Ь 4437932, кл. С 23 F 1/00, опублик. 1984.
Патент США М 4437930, кл. С 23 F 1/00, ьпублик. 1984.
Изобретение относится к химическому травлению металлов и может быть использовано в электронной, радиоэлектронной и приборостроительной отраслях промышлфнности для травления меди при изготовлении печатных плат.
Цель изобретения — повышение скорости травления и увеличение срока службы раствора.
Введение натрия молибденовокислого
: двухводного является признаком существЕнным, т.к. позволяет повысить скорость травления до 35 мкм!мин и уменьшить скорость разложения перекиси водорода, что саособствуетувеличению срока службы раствора.
В составе с ионами меди, серной кисло;той, перекись водорода и е-капролактамом в г атентной и научно-технйческой литературе эта добавка неизвестна.
На основании выше сказанного данный
Состав обладает новизной и существенным отличием.
„„ Ы„„1807088 А1 (54) РАСТВОР ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ (57) Использование: химическое травление меди при изготовлении печатных плат. Сущность изобретения: раствор для травления меди содержит, г/л: медь сернокислую пя. тиводную (в пересчете на медь) 25-30, сер- . ную кислоту (967-ную) 320-380, перекись .: водорода (35 -ную) 200-300, е -кап ролактам .
8-10, натрий молибдеиовокислый двухвод-:. ный 8-10, 1 табл.
3 °
Способ приготовления раствора заключается в том, что медь сернокислую и ятиводную растворяют в деионизованной воде,, в добавляют серную кислоту и охлаждают до.. ©р температуры ниже 50 С. Добавляют перекись водорода, е-капролактам и натрий мо-. либденовокислый двухводный. При такой последовательности загрузки компонентов перекись водорода разлагается медленнее ©© и скорость травления выше.. О©
П р и и е р. Раствор травления в количе-.;.; стве одного литра готовят выше описанным способом. Доводят температуру до 50 "С. д
Образец из фольгированного стеклотексто-" лита со сформированным на нем резистивным топологическим рисунком погружают в раствор. Процесс травления происходит при постоянном встряхивании образца.
Полное стравливание меди с незащищенных участков происходит за 1 мин, Для обоснования граничных концентраций компонентов предлагаемого раствора готовят семь растворов. Параллельно гото-
1807088
Составитель.О.Долина
Редактор Т.Иванова Техред М.Моргентал Корректор Н.Ревская
Заказ 1361 : Тираж Подписное
ЙНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 вят известный травитель. Составы растворов приведены 8 таблице.
Травитель обеспечивает равномерное снятие фольги по всей поверхности, постоянную скорость травления и оптимальный клин травления (менеЪ 0,5).
Предлагаемый раствор применим для производства печатйых плат с использованием большинства органических и металлических реэистов.
Технико- экономическая эффективность предлагаемого травителя заключается в интенсификации процесса и увеличении срока службы раствора. В процессе работы происходит накопление меди в растворе, которая при охлаждении легко кристаллизуется в виде сернокислой меди/
Сернокислая1медь находит применение в химико-гальваническом производстве и может быть использована повторно.
Формула изобретения
Раствор для химического травления меди. содержащий сернокислую пятиводнуЮ медь, серную кислоту, перекись водорода и я-кап рола ктам, отличающийся тем, чть, с целью повышения скорости травлениЮ и увеличения срока службы раствора, он до10 полнительно содержит молибденовокислый двухводный натрий при следующем соотн< шении компонентов, г/л:
Сернокислая пятиводная . медь в пересчете на медь 25-ЗР
Серная кислота (96 -ная) 320-380
Перекись водорода (35 -на я) 200-300 е -Капролактам 8-10
Мол ибденовокис лый двухводный натрий 8-10.

