Раствор для избирательного травления меди

 

Изобретение относится к химической обработке меди, в частности к раствору для избирательного травления меди в структуре: медь - никель - молибденовый сплав - легкоплавкое стекло, и может быть использовано в радиоэлектронной и злектроприборостроительной промышленности Цель изобретения - повышение скорости травления меди и снижение растравливания подложки. Травление слоя меди на никель-молибденовом сплаве проводили в растворе, содержащем, г/л: персульфат аммония 150-300; гир.рат окиси аммония 270-450 и хлористый аммоний 12-50. Выбранное соотношение компонентов обеспечивает повьшение скорости травления меди в 2-3 раза по сравнению с известным раствором. 1 табл. с S 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„1301870 (.51) 4 С 23 F 1/18, 1/00 (Л

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3855020/22-02 (22) 05.02.85 (46) 07.04.87, Бюл. У 13 (71) Производственное объединение Краснодарский ЗИП" (72) В.Е. Епанешникова и Л.Н. Молчановская (53) 621.793.42(088.8) (56) Попилов Л.Я. Советы заводскому технологу. — Л.: Лениздат, 1975, с. 181-182. (54) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ (57) Изобретение относится к химичес- . кой обработке меди, в частности к раствору для избирательного травления меди в структуре: медь — никель— молибденовый сплав — легкоплавкое стекло, и может быть использовано в радиоэлектронной и электроприборостроительной промышленности. Цельизобретения — повышение скорости травления меди и снижение растравливания подложки..Травление слоя меди на никель-молибденовом сплаве проводили в растворе, содержащем, г/л: персульфат аммония 150-300; гидрат окиси аммония

270-450 и хлористый аммоний 12-50.

Выбранное соотношение компонентов обеспечивает повышение скорости травления меди в 2-3 раза по сравнению с известным раствором. 1 табл.

1301870 2

Изобретение Ьтносится к химической мешивания раствора добавляют воду до обработке меди, в частности для изби- расчетного объема. рательного травления меди в структу- II р и м е р. Проводят избирательре: медь — никель-молибденовый сплав — ное травление меди в структуре: медь легкоплавкое стекло. толщиной 50-60 мкм — резистивная фольЦелью изобретения является повыше- га толщиной 3-10 мкм. Проводят также ние скорости травления меди и сниже- сравнительные испытания растворов для ние растравливания подложки, избирательного травления меди с поРаствор готовят обычным способом, верхности никель-молибденовой фольги а именно растворяют в воде (1/2 объе- 1О при изготовлении прецизионных фольо ма) при 20-30 С персульфат аммония, говых резисторов на подложке из легдобавляют расчетное количество 25%-но- коплавкого стекла. го раствора аммиака и затем расчетное количество хлористого аммония, Результаты испытаний представлены

После растворения последнего и пере- 15 в таблице.

Скорость растворения

Условия

ÑîñСодержание компонентов травлео ния, С тав никельмолибдестекла, г/см мин меди, мкм/мин нового сплава, мкм/мин

1. 10

1* (NH ) 8 0 75 г/л

NH 4OH 375 мл/г

1 „10-з

17-19 1,6-2,0

9 10

17-18 0 5-0,7

2 (NH ) 8 0 35%

Избыток аммиака

3 (NH ) т S Oв 250 г/л (50 вес.ч.)

ОН ОН 745,5 г/л (25 -ный ра-(до рН 9) створ) (5-6) 10 з (5-7) . 10

3-4

250 r./ë (50 вес.ч.) NH Cl

150 г/л

270 г/л (NH ),s,oà, NH OH (25 -ный раствор) 2 10

5 ° 10 а

17-18 4-5

12 г/л

NH Cl

Вода

До 1 л

8 0

6 10

300 г/л

450 г/л

17-20 6-8 (NH4 ) 2 S2 08 . NHÄOH (25 -ный раствор) 50 г/л

NH 401

Вода

До1л

1301870

Продолжение таблицы

Скорость растворения

G0cУсловия

Содержание компонентов тав травления, С стекла, г/см - мин никельмолибденового меди, мкм/мин сплава, мкм/мин (ИН)БО

NH4 оН (25%-ный раствор)

NH Cl

200 г/л

360 г/л

25-30 9-10

5 104

2*10

24 г/л

До1л

Вода (NH„) S,0s

NH „ОН (25%-ный раствор) 200 г/л

360 г/л

1 104

25-30 2-4

1ю10 3

10 г/л

NH Сl

Вода

До1л (ын ),s О, NH4OH (25%-ный раствор) 200 г/л

I г/л

360

25-30 8-9

6 10

5 10

60 г/л

ЫН Сl

Вода

До 1 л

140 (m4), s, o, г/л

260 г/л

NH OH (25%-ный раствор)

ЛН Сl

2-3

10 г/л

Вода До1л

320 г/л

500 г/л (NH ) S2 Os

NH 4oH (25%-ный раствор) 5-6

60 г/л

NH Сl

Вода

До 1 л

*Примеры 1-3 известных ранее составов; примеры 4-6 предлагаемого состава, пример 6 является оптимальным составом, 7-10 — примеры растворов с запредельными значениями содержания компонентов.

L i

Как следует из таблицы (пример 8), NH C1. не влияет на скорость травления дальнейшее увеличение содержания меди. но в то же время намечается тен130I 870

6 ормула изобретения

Составитель В. Олейничелко

Техред М. Ходанич Корректор И. Самборская

Редактор С. Пекарь

Заказ 1194/28 Тираж. 937 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 денция роста скорости растворения легкоплавкого стекла.

Сравнительные испытания по скорости растворения меди, сплава и легкоплавкого стекла известного (пример 3) и предлагаемого растворов показали, что при использовании предлагаемого раствора повышается скорость растворения меди в 2-3 раза при уменьшении расхода NH Cl в 10 раз и 257-ного 10

NH„0H в 2 раза.

В результате повышения скорости растворения меди повышается производительность труда при селективном 15 удалении меди с поверхности из никель-молибденового сплава.

Раствор для избирательного травления меди преимущественно с подложки из никель-молибденового сплава и легкоплавкого стекла, содержащий персульфат аммония, гидрат окиси аммония и хлористый аммоний, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повьш ения скорости травления меди и снижения растравливания подложки, он содержит компоненты в следующем соотношении, г/л:

Персульфат аммония 150-300

Гидрат окиси аммония (257) 270-450

Хлористый аммоний 12-50