Способ изготовления записывающей головки струйного типа

 

Изобретение относится к приборостроению , а именно к элементам конструкции регистрирующих устройств, и может быть использовано при изготовлении записывающих устройств - головок струйного типа, наносящих красящие вещества, например чернила, на поверхность носителя записи. Цель изобретения - упрощение способа изготовления записывающей головки струй-, ного типа за счет снижения трудоемкости изготовления сопловой пластины - достигается за счет того, что изготавливают подложку с резистивными элементами, изготавливают многофункциональную пластину и соединяют их между собой. Изготовление многофункциональной пластины начинают с получения заготовки, которую нарезают из бронзовой фольги. На заготов- ,ке методом фотолитографии формируют фоторезистивную маску под сквозные отверстия, одновременно формируют ее и под выступы, затем по полученной обратной фоторезистивной маске проводят гальваническое осаждение никеля, а удаление фоторезиста осуществляется перед травлением. 8 ил. ел

COIO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!)5 G 01 О 15/18

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ. (21) 4940165/10 . (22) 30.05.91 (46) 30.03.93, Бюл. М 12 (71) Научно-исследовательский институт космического приборостроения (72) А.А.Аксюнов, Ю.С.Гусар и Б.Н.Дунаев (73) А.А.Аксенов, Ю.С.Гусар и Б,Н.Дунаев (56) Авторское свидетельство СССР

N 1688113, кл. G 01 О 15/18, 1990. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗАПИСЫВАЮЩЕЙ ГОЛОВКИ СТРУЙНОГО ТИПА (57) Изобретение относится к приборостроению, а именно к элементам конструкции регистрирующих устройств, и может быть использовано при изготовлении записывающих устройств — головок струйного типа, наносящих красящие вещества, например чернила, на поверхность носителя записи.

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к элементам конструкции регистрирующих устройств, и может быть использовано при изготовлении записывающих устройств — головок струйного типа, наносящих чернила на поверхность носителя записи, Целью изобретения является упрощение способа за счет снижения трудоемкости изготовления сопловой пластины,На фиг. 1 приведен общий вид записывающей головки струйного типа; на фиг. 2— вид Б на фиг. 1; на фиг. 3 — сечение А — А на фиг. 1; на фиг. 4-8 — тех,процесс изготовления многофункциональной пластины.

Сущность способа изготовления записывающей головки заключается в том, что изготавливают подложку 1 с резистивными

„„Ж„„1806327 А3

Цель изобретения — упрощение способа изготовления записывающей головки струй-. ного типа за счет снижения трудоемкости изготовления сопловой пластины — достигается за счет того, что изготавливают подложку с резистивными элементами, изготавливают многофункциональную пластину и соединяют их между собой. Изготовление многофункциональной пластины начинают с получения заготовки, которую нарезают из бронзовой фольги, На заготовке методом фотолитографии формируют фоторезистивную маску под сквозные отверстия, одновременно формируют ее и . под выступы, затем по полученной обратной фоторезистивной маске проводят гальваническое осаждение никеля, а удаление фоторезиста осуществляется перед травлением. 8 ил. элементами 2, изготавливают многофункциональную пластину 3 и соединяют их между собой (фиг,1). При этом изготовление многофункциональной пластины 3 начинают с получения заготовки 4 (фиг. 4).

Заготовку нарезают из бронзовой фольги марки ДПРНТБрБ2-0,1 ГОСТ 1879-70. После получения заготовки формируют на ней методом двухсторонней фотолитографии обратную фоторезистивную маску 5 (фиг.4) под сквозные отверстия 6 и под выступы 7 (фиг.3), Затем по полученной фоторезистивной маске 5 проводят гальваническое никелирование 8 (фиг.5), далее идет снятие фоторезистивной маски 5 (фиг.б) и заканчивается процесс фотолитографии травлением (фиг.4), в результате которого получают

1806327 сквозные отверстия 6 и выступы 7 (фиг,7).

Затем на готовую многофункциональную пластину наносят защитное гальваническое покрытие никеля 9 (фиг.9).

По предложенному способу изготовлены работающие записывающие головки со следующими техническими параметрами: диаметр сопловых отверстий 60-70 мкм с точностью 2 мкм; высота выступов составила 50-65 мкм с . очностью выполнения и 2 мкм, Формула из о бр ете н ия

Способ изготовления записывающей головки струйного типа, заключающийся в формировании подложки с резистивными нагревателями, многофункциональной пластины из бронзовой фольги и соединении ее с подложкой, а при изготовлении многофункциональной пластины на заготовке форми5 руют фоторезистивную маску под сквозные отверстия, производят травление, удаление фоторезиста и нанесение на поверхности подложки защитного гальванического покрытия, отличающийся тем, что, с целью

"0 упрощения и снижения трудоемкости из«отовления, дополнительно формируют фоторезистивную маску под выступы с обратной стороны заготовки, затем на обе стороны заготовки производят гальваническое осаж15 дение слоя никеля и удаляют слой фоторезиста перед травлением.

1806327

Составитель С.Ботуз

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор M.Керецман

Редактор

Заказ 972 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101