Способ изготовления записывающей головки струйного типа
Изобретение относится к приборостроению , а именно к способам изготовления струйных пишущих головок. Цель изобретения - упрощение процесса изготовления. Для достижения цели пластину 3 с соплами изготавливают из бронзовой фольги, в которой первым процессом фотолитографии формируют сквозные и глухие отверстия 4 и 5 соответственно, вторым процессом фотолитографии формируют маску, через которую , осаждая медь, получают выступы и наносят защитное покрытие. Полученную заготовку совмещают и склеивают с подложкой , в которой выполнены резистивные нагревательные элементы. 8 ил.
СОК)З СОВЕТСКИХ
СО! (ИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)з G 01 0 15/18
ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4708694/10 (22) 21.06,89 (46) 30,10.91. Бюл. М 40 (72) А.А. Аксенов, Ю.С. Гусар, Б.Н. Дунаев, Г.А. Щекина и С,И. Юношев (53) 681.846.7(088,8) (56) Hewlett Packard Journal. May 1985. Сагу
L. Slewell, WillIum R. Bovcher and Paul Н.
Meclelaud, 33-37. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗАПИСЫВАЮЩЕЙ ГОЛОВКИ СТРУЙНОГО ТИПА (57) Изобретение относится к приборостроению, а именно к способам изготовления
Изобретение относится к приборостро -. ению, а именно к способам изготовления элементов конструкции регистрирующих устройств.
Цель изобретения — повышение производительности и ускорение процесса изготовления.
На фиг. 1 показана записывающая головка, общий вид; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг, 1; на фиг. 3 — вид Б на фиг, 1; на фиг. 4 — 8 — последовательность изготовления многофун кционал ьной пластин ы.
При изготовлении подложек 1 с резистивными нагревательными элементами 2 используется ситаловая пластина, на которую напыляют тонкие пленки резистивного и проводникового материала, Методом фотолитографии формируют нагревательные элементы (резисторы) и проводники.
При изготовлении многофункциональной пластины 3 заготовку вырезают из бронзовой фольги, обезжиривают венской
„„5U ÄÄ 1688113 Al струйных пишущих головок. Цель изобретения — упрощение процесса изготовления.
Для достижения цели пластину 3 с соплами изготавливают из бронзовой фольги, в которой первым процессом фотолитографии формируют сквозные и глухие отверстия 4 и
5 соответственно, вторым процессом фотолитографии формируют маску, через которую, осаждая медь, получают выступы и наносят защитное покрытие, Полученную заготовку совмещают и склеивают с подложкой, в которой выполнены резистивные нагревательные элементы. 8 ил. известью. декапируют в 1О;ь-ном растворе соляной кислоты и наносят фоторезист на обе стороны заготовки методом окунания.
Экспонирование осуществляют через совмещенныйый пакет шаблонов (двухстороннее совмещение и экспонирование), После проявления засвеченного слоя фотореэиста и термического задубливания производят травление бронзовой фольги в селективном травителе. По окончании травления снимают фоторезист. На полученной заготовке со сквозными отверстиями 4 и глухими отверстиями 5 после проведения повторной очистки проводят вторую фотолитографию. для чего наносят с двух сторон фоторезист и попеременно совмещают и экспонируют фоторезистивную маску 6 под коллектор 7 и выступы 8 на всех модулях групповой обработки. После формирования фоторезистивной маски 6 проводят гальваническое наращивание меди, получая при этом коллектор 7 и выступы 8. Затем фотореэист
1688113 удаляют и наносят защитное гальваническое покрытие 9 из никеля. Проверенные под микроскопом многофункциональные пластины 3 совмещают и склеивают с подлОжкОЙ 1.
Формула изобретения
Способ приготовления записывак>щей головки струйного типа, при котором изготавливают подложку с реэистивными нагревательными элементами и многофункциональную пластину из заготовки с последующим соединением их между собой, отличающийся тем. что, с целью
С
С
С
П повышения производительности и ускорения процесса изготовления, заготовку пластины получают из бронзовой фольги, методом фотолитографии формируют в за5 готовке сквозные и глухие отверстия, затем повторной фотолитографией формируют фоторезистивную маску, по которой методом гальванического наращивания формируют выступы иэ меди. после чего удаляют
10 фоторезистивную маску и проводят защитное гальваническое наращивание никеля на всю поверхность многофункциональной пластины.
Фиг 9
Составитель Г. Загубный
Техред М.Моргентал Корректор M. Шароши
Редактор М. Циткина
Заказ 3703 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
