Способ обезгаживания вакуумных и газоразрядных приборов, включающих графитовые или покрытые
О П И С А Н И Е ISI048
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
N АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союэ Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 12g, 1/02
Заявлено 10. т .1965 (№ 1006936/23-26) с присоединением заявки ¹
ЧПК В Olj
УДК 533.587(088.8) Приоритет
Опубликовано 15.IV 1966. Бюллетень № 9
Дата опубликования описания 14Х1.1966
Комитет оо делом
:изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Лвторы изобретения,:
Заявитель
T. A. Суетин, А. Л. Шапиро и Г. И. Бобков I
Всесоюзный ордена Ленина электротехнический инстит 1т — имени В. И. Ленина f
1! т., Т и и . х 11 с (> г
>-" l---ИОТЕ;-;, СПОСОБ ОБЕЗГА)КИВАН ИЯ ВАКУУМ Н Ь1Х И ГАЗОРАЗРЯДН ЫХ
ПРИБОРОВ, ВКЛЮЧАЮЩИХ ГРАФИТОВЫЕ ИЛИ lIOKPblTblE
ГРАФИТОМ ДЕТАЛИ
Известные способы обезгаживания вакуумных и газоразрядных приборов, включающих графитовые или покрытые графитом детали, заключаются в применении нагретого титана до температуры 1300 С.
Цель изобретения — повысить скорость обезгаживания приборов. Достигается это тем, что титан нагревают до температуры
700 — 1 100 С.
Предложенный способ позволяет откачивать не тяжелые углеводороды, а водород.
Откачка водорода из приборов происходит со значительно большей скоростью, что и позволяет сократить технологический цикл вакуумной обработки изделий при одновременном повышении степени обезгаживания графитовых деталей и всего прибора.
На чертеже кривая Л выражает зависимость количества откачанных из ртутного вентиля газа в зависимости от времени при наличии в приборе нагретой до температуры
1100 С титановой пластины. Кривая 8 дает Tó же зависимость для вентиля, в котором титан отсутствует.
В обоих случаях общее количество газа примерно одинаково, но в первом случае газ откачан за время в 2,5 раза меньшее, за счет откачки водорода, образующегося при разложении углеводородов, вместо откачки углеводородов (в приборе без титана). Оба эксперимента проводили в одних и тех же условиях: при одинаковой технологической обработке деталей и всего прибора.
Использование явления диссоциации углеводородов на нагретом титане приводит также к резкому уменьшению давления остаточных газов и дополнительной очистке внутренних деталей приборов. Например, в мощных
15 игнитронах давление остаточных газов снижается с 3 — 5 до 0,05 — 0,1 мк рт. ст, Предмет изобретения
Способ обезгаживания вакуумных и газоразрядных приборов, включающих графитовые или покрытые графитом детали, путем применения нагретого титана, отличаютиийся тем, что, с целью ускорения обезгаживания приборов, титан нагревают до температуры
2S 700 †11 С.
181048
yz 16 Д7 Л и - зб
Составитель Л. А. Мовчан
Редактор Э. Н. Шибаева Техред A. А. Камышиикова Корректоры:Л. E. Марисич и С. Н. Соколова
Заказ 1550 3 Тираж 875 Формат бум. 60+90 /ц Объем 0,13 изд. л. Подписное
ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ГССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
