Устройство для дозирования парогазовой смеси

 

Иэобрбтйнке ОУН ГИГСЯ к микрозлехтронной технике, а именно к дозирующим устройствам бзрбстажиого тмпз дп выдачи определенной Аози парогйзовоЛ смеси. Целью изобретения является повышонме темности дознросания метагиюрганических соединений для япитэксиального процесса за счет повышения однородности парогззовой смеси. Газноситель через трубку G и се пористую рстэвку 7, выполненную высотой не более 2 ш. из пористой кержгБЗ. ощий стали с размерами пор 10 15мкм, проходит через налиг/ю в камеру 3 дозируемую жидкость о виде мелких несм пающихс : пузырьков и поступает через патрубок 5 отвода парогазовой сиег, установл. чн1.. ч крышке герметичной камеры 3. в реактор. 1 ил.

1707478

Составитель З.Крнсанова

Техред М.Моргентал Корректор О.Ципле

Редактор Т.Иванова

Заказ 2Я Т <р:;; Подписное ь I., . .г ° . . ° ь q -,- - i ° — . ь г с ° ь .» ьг>зт ° * ° г: ° F) ьлг ь зьуна гтггзтй е з иад I ь! аТ IvLL P йо. о, юоскаа, -56, Гаушская наб., 4/ь

Произеодотееино-издательский комбинат Патент а г. ужгород, ул.Гагарина. 101 тель через патрубок 4 поступает сначала в верхнюю часть 2 емкости 1, затем в трубку

6 и проходит через пористую вставку 7 на конце трубки 6 в дозируемую жидкость. Далее насыщенный веществом газ-носитель выходит из камеры 3 через патрубок 5 и поступает в реактор эпитаксиального наращивания.

Устройство относится к барботажным доэаторам, в которых ПГС получают путем пропускания газа-носителя через слой испаряемого вещества. Степень насыщения газа-носителя зависит от степени измельчения пузырьков газа, для чего вставка выполнена из пористой нержавеющей стали с размерами пор 10-15 мкм, и его расхода через дозатор. Высота пористой вставки трубки выполнена минимально возможной (2 мм) по двум причинам: во-первых, насыщение пузырьков газа парами жидкости не должно зависеть от высоты столба жидкос7Н внутри доэатора, во-вторых. протяженность рабочего участка приводит к коалисценции (слипанию) пузырьков. При выделении пузырьков газа с вертикально расположенной стенки трубки (торец трубки заглушен) уменьшается вероятность их слипания. Поскольку пузырьки образуются мелкие, то и насыи;ение гзэа-носителя парами жидкости происходит эр- гчитсльно быстрее. Поэтому при снижении уровня жидкости насыщение газа ее парами не мел няется. Кроме того. уменьшение размеров пузырьков приводит к снижению брыэгоуноса, что уменьшает дефектообраэование наращиваемых эпитаксиальных слоев.

5 Таким образом, уменьшение размеров пузырьков и их воспроизводимость по объ-ему обеспечивают наиболее полное насыщение газа-носителя испаряемым веществом, а значит, стабилизацию состава

10 ПГС. За счет повышения однородности кон- центрационного состава ПГС повышается точность ее дозирования и вследствие этого улучшается вос и роиз водим ость эпитаксиальных слоев от процесса к процессу., 15

Формула изобретения

Устройство для доэирования парогазсвой смеси, содержащее герметичную камеру для дозируемой жидкости, в которую опущена трубка для подвода газа-носителя, 20 а в крышке герметичной кямеры установлен патрубок для отвода парогазовой смеси. о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности дозировдния металлорганических соединений для эпитаксиального

25 процесса з=- счет повышения однородности парогазовой смеси, нижний конец трубки для подвода газа-носителя заглушен и выполнен с кол;цевой вставкой из пористой нержавеющей стали с порами 10 — 15 мкм, ЗО причем высота кольцевой вставки не превы шает 2 мм.