Способ измерения температуры расплавов в тиглях

Авторы патента:

G01K7/02 - с использованием термоэлектрических элементов, например термопар (термоэлектрические или термомагнитные устройства как таковые H01L 35/00,H01L 37/00)

G01K1/14 - опоры; крепежные устройства; устройства для установки термометров в определенных положениях

Q П И С А Н И Е 173456

ИЗОВРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

890

Заявлено 05. 1г.1964 (№ 898642/26-10) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликгва Io 21.Vl1.1965. Бюллетень ¹ 15

Дата опубликования описания 20Х111.1965

МПК б 01k

Государствеииый комитет по делам изобретений и откРытий СССР

УД I(537.324.004

621 вЂ” 465 (088.8) Авторы изобретения

Заявитель

Л, H. Калнач и 3. О. Тизенберг

Рижский приборостроительный завод Совета народного хозяйства

Латвийской CCP

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ РАСПЛАВОВ В ТИГЛЯХ

Под ггггсная группа Л 171

Известные способы измерения температуры расплавов в тиглях при помощи термопары, которую погружают в расплав сверху, не обеспечивают достаточной точности измерения в разных точках поверхностного слоя расплава (зоньг кристаллизации) вследствие отвода тепла через защитную оболочку.

По предложенному способу для повышения точности измерения градиентов температуры в зоне кристаллизации расплава термопару вводят в расплав через отверстие, расположенное в донной или боковой части тигля ниже уровня расплава.

Для свободного перемещения термопары между ее оболочкой и корпусом тигля создагот зазор, удержание расплава в котором обеспечивают применением не смачиваемых расплавом материалов тигля и оболочки термопары.

Описанный способ может быть применен для контроля градиентов температуры при совершенствовании процессов выращивания монокриста",;ëîâ полупроводниковых матери5 алов по методу Чохральского, например германия, индия и др.

Предмет изобретения

Способ измерения температуры расплавов

10 в тиглях при помощи термопары, отличаюгчиися тем, что, с целью повышения точности измерения градиентов температуры в зоне кристаллизации расплава, термопару вводят в расплав через отверстие, обеспечивающее

15 ее свободное перемещение и расположенное в донной или боковой части тигля ниже уровня расплава, а расплав удерживают в тигле путем применения материалов корпуса тигля и термопары, не смачиваемых расплавом.