Прибор для измерения толщинб!

ОЛ ИСАЙИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

170695

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 26.Х.1963 (№ 863115/26-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 23.1V.1965. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 19Х.1965

Кл. 42Ь, 12оз

МПК С Olb

УДК 531.717.11(088.8) Государственный комитет Ilo дела изобретении и открытий СССР

Авторы изобретения

И. В. Свистунов и H. Л. Бондаренко

Q й,",/;

Заявитель

ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ТОНКИХ НЕМАГНИТНЫХ И НЕМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ

НА ФЕРРОМАГНИТНОМ ОСНОВАНИИ

Подписная группа № 1б4

Известны приборы для измерения толщины тонких немагнитных и неметаллических покрытий на ферромагнитном основании, например токовихревые приборы типа «Дермитрон».

Предложенный прибор основан на магнитогармоническом методе. В нем для исключения влияния изменения магнитной проницаемости и толщины ферромагнитного основания на точность измерений измерительный мост с индуктивными датчиками и элементами балансировки включен на входы двухканального резонансного усилителя, первый канал которого настроен на третью гармонику частоты, а второй — на основную частоту генератора.

На фиг. 1 приведена блок-схема прибора; на фиг. 2 — его электрическая схема.

Прибор содержит измерительный мост 1, компенсационный мост 2, генератор 8 синусоидального напряжения, буферный каскад 4, ре-. зонансный усилитель 5, детектор б, ламповый вольтметр 7, разностный каскад 8, избирательный усилитель 9, детектор 10, суммирующий блок 11 и блок питания 12.

Измерительный мост 1 с помощью резонансного усилителя 5, детектора б и лампового вольтметра 7 балансируется при отсутствии изделия под датчиком для третьей гармоники частоты питания моста. При этом по основной частоте он остается недобалансированным.

С выхода моста 1 сигнал недобаланса поступа на вход разностного каскада 8, усиливается избирательным усилителем 9, детектируется детектором 10 и измеряется ламповым вольтметром 7.

Для компенсации недобаланса измерительного моста 1 по основной частоте служит компенсационный мост 2, напряжение с которого поступает также на разностный каскад 8. Таким образом измерительный мост 1 с помощью блоков 5, б и 7 балансируется для третьей гармоники, а с помощью блоков 2, 8, 9, 10 и 7— по основной частоте. При постановке одного из датчиков рабочего моста на изделие мост разбалансируется как по основной частоте, так и

15 по третьей гармонике. Сигналы разбаланса измерительного моста по основной частоте и третьей гармонике после усиления резонансными усилителями 9, 5 и детектирования детекторами 10 и б поступают в суммирующий

20 блок 11.

Суммарный сигнал измеряется ламповым вольтметром постоянного тока. Регулируя усиления блоков 5 и 9, добиваются отстройки от влияния изменения магнитной проницаемости

25 ферритовой подложки на показания прибора.

Двухтактный генератор 18 с емкостной обратной связью генерирует синусоидальное напряжение с заданной частотой; эти колебания через разделительный конденсатор поступают

Зо на управляющую сетку лампы буферного кас1706N када 14, анодной нагрузкой которого служит трансформатор 15, вторичные обмотки которого питают компенсационный мост 1б и измерительный мост, состоящий из двух накладных индуктивных датчиков 17 и элементов 18 балансировки. С выхода измерительного моста напряжения разбаланса поступают на вход двухканального резонансного усилителя, имеющего два канала, первый из которых, собраннь|й на двух лампах 19, настроен на третью гармонику, а второй, собранный на лампах 20, настроен на основную частоту генератора. На выходе обоих каналов усиленные напряжения разбаланса измерительного моста детектируются диодами 21 и 22.

Дифференциальным ламповым вольтметром

28 с помощью переключателя 24 поочередно измеряют постоянную составляющую напряжений детектирования непосредственно на выходе каждого канала, а также на суммирующей ячейке 25.

Предмет изобретения

Прибор для измерения толщины тонких немагнитных и неметаллических покрытий на ферромагнитном основании, содержащий генератор, измерительный и компенсационный мосты, резонансный усилитель, разностный кас10 кад, два детектора, суммирующий блок и измерительный прибор, отличающийся тем, что, с целью исключения влияния изменения магнитной проницаемости основания на точность измерений, измерительный мост с индуктив15 ными датчиками и элементами балансировки включен на входы двухканального резонансного усилителя, первый канал которого настроен на третью гармонику частоты, а второй— на основную частоту генератора.

f70695 фце /

Составитель Л. А. Колюбакина

Редактор Н. С. Коган Техред Т. П. Курилко Корректор Л. В. Тюняева

Заказ 1001/9 Тираж 1150 Формат бум. 60)(90 /в Объем 0,24 изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2