Патент ссср 158218
Ым о /й +/ 6
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
1 ЕСПУБЛИК
Опис ник изовгкткния
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ № 158218
Класс 74Ь, 80Ч
МПК G 08с
Заявлено 5.111.1962 (Л 715018/26-10) ГОСЬДА РСТ ВЕН Н Ы И
КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ
ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТКРЫТИИ
СССР
УДК
Опубликовано 18.Õ.1963. Бюллетень ¹ 20
ВХ1 ; И1 "-Ц 2
2 ПАТЕНТ, ::;.
ПХРК,*;,"
М. И. Голиков, Л. Н. Романов и К. А, Барано Р . ЛИ-, УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИСТАНЦИОННОГО ИЗМЕРЕНИЯ
ТОЛЩИНЫ КРИСТАЛЛОВ, ВЫРАЩИВАЕМЫХ В УСЛОВИЯХ
ВЫСОКИХ ТЕМПЕРАТУР И ДАВЛЕНИЙ
Подписная гру/гпа № 255
Предмет изобретения
В известных устройствах для из,lepeIIIIn толщины кристаллов, выращивасмых в условиях высоких температур и давлений, скорость роста кристаллов определяют путем расчета по параметрам режима роста. Эти устройства не обеспечивают необходимой точности, так как процесс выращивания кристаллов недостаточно изучен, и возможность точного измерения параметров отсутствует.
Предлагаемое устройство позволяет контролировать фактический нарост материала и повысить точность измерений. Для этого один конец плунжера датчика соединен с ферромагнитным стержнем, перемещаемым электромагнитом. Второй конец соединен с системой рычагов, связанных со щупом, опирающимся на поверхность исследуемого кристалла.
На чертеже изображено предлагаемое устройство в разрезе.
При включении в обмотку электромагнита 1 постоянного тока магнитное поле, действуя через стенку штуцера 2 из немагнитной стали, втягивает ферромагнитный стержень,3.
Стержень 8 перемещает железньш плунжер 4 индукционного датчика, соединенный с ним вставкой 5 из немагнитного материала, а также тягу б, соединенную шарнирно с рычагом
7. Тяга, действуя на рычаг 7, поворачивает его и рычаг 8, закрепленные на оси 9, до упора рычага 8 в кристалл 10.
Положение рычага 8 в зависимости от толшины кристалла I(/ фиксирует положение плунжера 4 индукционного дифференциального датчика по отношени1о к индукционной катушке 11, что соответствует определенно I э.д.с. на выходе татчп»а. Э..с. замеряе гся прибором типа ЭИВ и ДСР со шкалой, отградуированной в миллиметрах.
После отключения электрического тока подвижная часть прибор» Ilo3 действием сооственного веса устанавливается в нерабочее положение. В случае зависания системы прп попадании в полость прибора механических частиц электромагнит 12 возвращает ее в исходное положение. Поочередное вк/иочение электромагнитов 1 и 12 спосооствует перемещению подвижной части в результате периодической очистки трущихся поверхностей от механических частиц, тормозящих переъ!ещен ие.
Устройство для днстанционногс измерения толщ1шы кристаллов, выращиваемых в условиях высоких температур и давлений, содержащее индукционный дифференциальньш дат1ик перемещений, отл пч а ю щеес я тем, что, с целью поьышения точности измерений, один конец плунжера датчика соединен с фер1«1е I
М 158218
Составитель Н. Г. Рудакова
Редактор Б. С. Нанкииа Тсхр д !. П. Курилко !(оррекзор Т. С. Дрожжииа
1!од и. к печ. 2! Х1 — 63 г. Формат бум. 60",90 !а Обьем 023 изд
3 а и. 2707!1 1 Тираж 750 Цена 4 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Сероза, д. 4
Типографии, пр. Сапунова, 2 ромагнитиым стержнем, перемещаемым электромагнитом, а второй — с системой рычагов, связанных со щупом, опирающимся на повер. :ность исследуемого кристалла.
