Способ полирования керамики

 

Изобретение относится к микроэлектронике , в частности к полированию керамики при изготовлении керамических подложек. Целью изобретения является повышение производительности полирования и выхода годных изделий. Способ полирования заключается в нанесении на полировальник абразивной пасты, полировании с прижимом обрабатываемых деталей к вращающемуся со скоростью 9,0-9,7 с полировальнику с усилием 17-23 104 н/м2 и подачей в зону резания СОЖ. Используют следующий состав СОЖ, мас.%: синтетические первичные жирные спирты фракции CicrCi2 7,0-8,1, метиловый эфир синтетические жирные кислоты фракции 0,1- 0,3, керосин осветительный - остальное. Способ может быть использован на доводочных стенках различных конструкций. Использование способа позволяет повысить производительность до 30%. 1 табл., 1 ял.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ .

РЕСПУБЛИК (Я)5 В 24 В 1/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Синтетические первичные жирные спирты фракции С1о — Cn

7,0 — 8,1 (21) 4632652/08 (22) 05.01.89 (46) 07.12,91. Бюл. N. 45 (72) Ю.И.Артемьев, А.Л.Балашов, Н.Ф.Казачок и H.Ã. Tóðÿ H÷èê (53) 621.923,5(088.8) (56) Масловский В.В, Справочник по доводочным работам, Харьков, Изд, "Прапор", 1985, с.17. (54) СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ КЕРАМИКИ (57) Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к полированию керамики при изготовлении керамических подложек.

Целью изобретения является повышение производительности полирования и выхода годных изделий, Способ полирования заИзобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для полирования керамики при изготовлении керамических подложек.

Цель. изобретения — повышение произ. водительности процесса полирования высокоглиноземистой керамики и обеспечение высокого выхода годных деталей, Способ полирования заключается в нанесении на полировальник абразивной пасты и последующем полировании с подачей

СОЖ в рабочую зону. В качестве последней применяют смесь синтетических первичных жирных спиртов фракции Сю — Ci2. метилового эфира синтетических жирных кислот фракции C>2 — C<5 и керосина осветительного при следующем соотношении компонентов, мас.%:

„„ ÄÄ 1696266 А1 ключартся в нанесении на полировальник абразивной пасты, полировании с прижимом обрабатываемых деталей к вращающемуся со скоростью 9,0 — 9,7 с полировальнику с усилием 17 — 23 10 н/м и подачей в зону резания СОЖ. Используют следующий состав СОЖ, мас,%: синтетические первичные жирные спирты фракции

С10-Си 7,0 — 8,1, метиловый эфир синтетические жирные кислоты фракции С12 — Ci5 0,10,3, керосин осветительный — остальное.

Способ может быть использован на доводочных стенках различных конструкций. Использование способа позволяет повысить производительность до 30 1 табл., 1 ил.

Метиловый эфир синтетических жирных кислот фракции С12 — С15 0.1 — 0,3

Керосин осветительный Остальное

Полирование производят с усилием прижатия обрабатываемых деталей к полировальнику --(17 — 23) .10 н/м и скоростью вращения полировальника 9,0 — 9,7 с

-1

На чертеже показана схема реализации способа полирования высокоглиноземистой керамики.

Полирование производят, например, на станке типа ЗШП-320 с доработкой, позволяющей плавно регулировать скорость

-вращения полировальника. Диск-спутник 1 с наклеенными на него в количестве шестью керамическими подложками 2 прижимается к полировальнику 3 поводком 4, укрепленным на штанге 5, зафиксированной в головке 6. Полировальник установлен на

1696266 шпинделе 7. СОЖ подается на полировальник из капельницы 8.

Для обеспечения оптимального режима пОлирования скорость вращения полировальника устанавливают равной 9,4 с, что

-1 обеспечивает 40 двойных ходов поводка в минуту, Гидравлическая система станка посредством штанги создает усилие прижима диска-спутника к полировальнику, равное в . нашем случае 20 10 н/м . Величину штриха для применяемых дисков-спутников диаметром 220 мм устанавливают равной

60 мм. Полирование производят на алмазной пасте АСМ 5/3. которую наносят на полировальник вручную перед началом процесса. Расход пасты 30 — 50 Кар на 1000 подложек размером 48х60 мм, Расход СОЖ при полировании 10 — 15 капель.в минуту, При полировании достигнуто улучшение поверхности подложек от шероховатости 0,4 — 0,2 мкм до 0,02 мкм для всех типов

СОЖ.

Результаты полирования высокоглиноземистой керамики данным способом приведены в таблице.

Как видно из таблицы, оптимальные соотношения компонентов СОЖ с точки зрения обеспечения цели изобретения— повышения производительности полирования при обеспечении высокого выхода годного — приведены в примерах 3,8,9, Уменьшение и увеличение количества присадок в СОЖ снижает производительность процесса, что видно из примеров 10, 12. Получить достаточные значения производительности полирования для состава прототипа и составов СОЖ, находящихся за пределами предлагаемого изобретения, можно за счет увеличения усилия полирования и скорости вращения полировальника, что, однако, приводит к перегреву оснастки, отрыву подложек и уменьшению выхода годного — пример 2,11,13. Для описанного

5 состава оптимальны значения усилия полирования и скорость вращения полировальника, приведенные в примерах 3,4,5.

При уменьшении усилия полирования и скорости вращения полировальника проиэво10 дительность резко падает — пример 6, а при увеличении этих показателей перегревается оснастка и снижается выход годного — пример 7.

0,1 — 0,3

15 Формула изобретения

Способ полирования керамики, при котором вращают полировальник, поджимают и перемещают по нему обрабатываемые детали и подают в зону резания абразивную

20 пасту и смазочно-охлаждающую жидкость (СОЖ) на основе керосина, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения производительности обработки высокоглиноземистой керамики и выхода годных де25 талей, усилие поужатия выбирают равным (17-23) 10 н/м, скорость вращения полировальника 9,0 — 9,7 с, а в качестве СОЖ используют жидкость следующего состава. мас,%:

30 Синтетические первичные жирные спирты фракции С о — Си 7,0-8,1

Метиловый зфио

35 синтетических жирных кислот фракции Си-С и

Керосин осветительный Остальное

1696266

Х

Я

Составитель Б; Камка

Редактор Б. Федотов Техред М.Моргентал Корректор М, Шароши

Заказ 4266 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101