Устройство для неразрушающего контроля электрофизических характеристик магнитных пленок
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для неразрушающего контроля параметров магнитных пленок. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей устройства за счет возможности измерения гиромагнитного отношения и величины поля анизотропии с помощью одного резонатора. Устройство содержит СВЧ-резонатор цилиндрической формы, источник постоянного магнитного поля, причем ось цилиндрического резонатора совпадает с направлением магнитного поля, кассету для размещения подложки и кассеты для размещения магнитной пленки. Толщина кассет для пленки выбирается из условий получения ферромагнитного резонанса на заданной частоте. Применяя две кассеты с различной толщиной можно определить гиромагнитное отношение и величину поля анизотропии пленки. 2 ил.
СОЮЗ СО8ЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)з G 01 R 33/05
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
1 !
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н 1 2 Н 11
Н а.эфф
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4685592/21 (22) 25.04.89 (46) 30.07.91. Бюл. М 28 (72) Н.Г.Солоухин (53) 621.317.44 (088.8) (56) 1ЕЕЕ Trans on Magn ч. MAG-18, hk 6, 1982; IË. — Su, and Paxton "Rapid and
nonderstructure measurements of the
anlsotrop field In bubble garnet films. (541УСТРОЙСТВО llJlR НЕРАЗРУШАЮШЕГО КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ
ХАРАКТЕРИСТИК МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для неразрушающего контроля параметров магнитных пленок. Цель иэоИзобретение относится к области электроизмерений и может быть использовано в электронной и радиотехнической промышленности для нераэрушающего контроля основных параметров магнитных пленок, используемых для производства запоминающих устройств вычислительной техники.
Целью изобретения является расширение функциональных воэможностей устройства эа счет одновременного измерения как эффективного поля аниэотропии. так и гиромагнитного отношения с использованием одного резонатора.
Цель изобретения достигается тем, что в устройстве цилиндрический СВЧ-резонатор, помещаемый во внешнее магнитное поле так, что ось цилиндра совпадает с направлением поля электромагнита, выпол!
Ж 1666994 А1 бретения — расширение функциональных возможностей устройства за счет возможности измерения гиромагнитного отношения и величины поля аниэотропии с помощью одного резонатора, Устройство содержит СВЧ-резонатор цилиндрической формы, источник постоянного магнитного поля, причем ось цилиндрического резонатора совпадает с направлением магнитного поля, кассету для размещения подложки и кассеты для размещения магнитной пленки.
Толщина кассет для пленки выбирается иэ условий получения ферромагнитного резонанса на заданной частоте. Применяя две кассеты с различной толщиной можно определить гиромагнитное отношение и величину поля аниэотропии пленки. 4 ил. нен составным из цилиндрического корпуса, кассеты для подложки и двух сменных кассет для образца, являющихся съемными торцовыми стенками резонатора, скрепляемыми с корпусом резонатора по направляющим, при этом длины сменных кассет l1 и Iz определяются из условия возникновения
ФМР на рабочих частотах.
Устройство за счет использования сменных кассет разной длины позволяет осуществить регистрацию ферромагнитного резонанса на двух частотах с последующим расчетом эффективного поля анизотропии
Н,,фф и гиромагнитного отношения у по формулам
1666994 2 т1
H2 — Н1 где f>, 4 — частота СВЧ;
Н>, H2 — величина полей ФМР на частотах соответственно f1 и f2.
На фиг. 1, 3 представлена конструктивная схема предлагаемого устройства; на фиг. 2, 4 — конструкция кассеты.
Устройство содержит цилиндрический резонатор 1, размещенный между полюсами 2 источника постоянного магнитного поля так, что ось цилиндра совпадает с направлением постоянного магнитного поля. Резонатор 1 состоит из цилиндрического корпуса 3, к которому по направляющим 4 с одной стороны устанавливается кассета 5 для подложки, а с другой — поочередно две кассеты 6 для образца, являющиеся одновременно его торцовыми стенками.
На фиг. 2 представлена конструкция кассеты 6, внутри которой выполнен паэ 7 для образца, содержащая основание 8 .и крышку 9, скрепленные между собой винтами 10. Конструкция данной кассеты обеспечивает локальность измерений через отверстие 11 основания. Основание кассеты 8 является рабочей частью резонатора 1,.
Длина I основания меняется в зависимости от рабочих частот.
Устройство работает следующим образом.
В кассету 5 для подложки помещают подложку и устанавливают с одного торца резонатора 1. В кассету 6 для образца с 11 помещают исследуемую магнитную пленку на подложке, и кассету скрепляют с корпусом резонатора 3 по направляющим 4 с другого торца.
Проводят регистрацию спектра ферро5 магнитного резонанса на одной частоте fi.
Вынимают кассету 6 для образца с и на ее место устанавливают кассету 6 для того же образца с 12 и снова проводят измерения на частоте 2.
10 Меняя длину резонатора сменной кассетой для образца. можно регистрировать спектры ферромагнитного резонанса на двух частотах и определить эффективное поле анизотропии и гиромагнитное отноше15 ние одним резонатором, Формула изобретения
Устройство для неразрушающего контроля электрофизических характеристик маг20 нитных пленок, содержащее источник постоянного магнитного поля и СВЧ-резонатор цилиндрической формы с продольной осью, совпадающей с направлением магнитного поля источника постоянного маг25 нитного поля, и установленные в пазы на противоположных торцах цилиндра подложку и пленку на подложке, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства
30 за счет измерения эффективного поля магнитной аниэотропии и гиромагнитного отношения, резонатор снабжен съемной кассетой для подложки и двумя съемными кассетами для магнитной пленки с подпож35 кой, установленными в пазы корпуса.
1666994
glitz 3
Составитель А.Романов
Техред М.Моргентал Корректор В,Гирняк
Редактор Н.Коляда
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Заказ 2521 Тираж 423 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
