Способ определения параметров шероховатости оптической поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для определения параметров шероховатости оптической поверхности. Цель изобретения - повышение точности измерения и расширение информативности способа за счет определения функции спектральной плотности шероховатости и за счет определения еще и характерного периода и интервала корреляции шероховатости поверхности . Предварительно на базе контролируемой поверхности создают пленарный оптический волновод. Пучком света из свободного пространства возбуждают основную моду волновода, после чего производят измерение основных и вспомогательных параметров волновода. По индикатриссе рассеяния света определяют спектральную плотность шероховатости поверхности, по углу возбуждения основной моды определяют характерный период (шаг) и интервал корреляции шероховатости, а по рассеянной мощности определяют величину среднеквадратичного отклонения поверхности. w fe

COIO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ И СТИЧ Е С К ИХ

РЕСПУБЛИК (я>л G 01 В 11/30

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

K АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ч J Г (21) 4625892/28 (22) 26.12.88 (46) 15.01.91. Бюл. ¹ 2 (71) Университет дружбы народов им. Патриса Лумумбы (72) А.А.Егоров и И.В.Черемискин (53) 531.715.27(088.8) (56) Скрелина А.Л. Фотометрический способ оценки высоты неровностей поверхности прозрачных образцов. — Оптико-механическая промышленность, 1983, ¹ 2, с. 1-3. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измеригельной технике и может быть использовано, в частности, для определения параметров шероховатости оптической поверхности. Цель изобретения — повышение точности иэмереИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности для определения параметров шероховатости оптической поверхности.

Целью изобретения является повышение точности измерения и расширение информативности способа за счет определения функции спектральной плотности шероховатости и за счет определения, кроме величины среднеквадратичного отклонения поверхности, еще и характерного периода (шага) и интервала корреляции шероховатости поверхности.

Способ осуществляют следующим образом.

На оптическую поверхность направляют пучок когерентного излучения под острым уг„„. Ж„„1620831 А1 ния и расширение информативности способа за счет определения функции спектральной плотности шероховатости и за счет определения еще и характерного периода и интервала корреляции шероховатости поверхности. Предварительно на базе контролируемой поверхности создают планарный оптический волновод. Пучком света иэ свободного пространства возбуждают основную моду волновода, после чего производят измерение основных и вспомогательных параметров волновода. По индикатриссе рассеяния света определяют спектральную плотность шероховатости поверхности, по углу возбуждения основной моды определяют характерный период (шаг) и интервал корреляции шероховатости, а по рассеянной мощности определяют величину среднеквадратичного отклонения поверхности. лом к ней, затем измеряют интенсивность падающего и рассеянного от поверхности излучения и определяют параметры шероховатости. Предварительно на базе контролируемой поверхности создают планарный оптический волновод. Острый угол падения излучения изменяют до момента возбуждения основной моды в пленке. затем фиксируют угол р, измеряют зависимость интенсивности рассеянного излучения основной моды от угла рассеяния в плоскости падения, получают индикатриссу рассеяния, по которой определяют функцию спектральной плоскости шероховатости поверхности.

По максимальному значению рассеянной в плоскости падения мощности излучения определяют величину среднеквадратичного

1620831 отклонения поверхности, а по углу р определяют характерный период А() и интервал В корреляции шероховатостей поверхности, характерный периодА() определяют по формуле: чающийся в том, что направляют на поверхность пучок когерентного излучения под острым углом к ней, измеряют интенсивность падающего и рассеянного от поверхности

5 излучения и определяют параметры шероховатости, отл и ч а ю щи йс я тем, что, с целью повышения точности измерения и расширения информативности способа за счет определения функции спектральной

10 плотности шероховатости, наносят на поверхность тонкую диэлектрическую пленку, изменяют угол падения излучения до момента возбуждения основной моды в пленке, фиксируют этот угол у, измеряют зависимость

15 интенсивности рассеянного излучения основной моды от угла рассеяния в плоскости падения, получают индикатриссу рассеяния, по которой определяют функцию спектральной плотности шероховатости по20 верхности, по максимальному значению рассеянной в плоскости падения мощности излучения определяют величину среднеквадратичного отклонения поверхности, а по углу ропределяют характерный период и

25 интервал корреляции шероховатостей поверхности. гдето-длина волны источника когерентного излучения; у ° вЂ” эффективный показатель пре(о) ломления основной (нулевой) моды; п р — показатель преломления среды, в которой определяется угол р падения излучения. Интервал В корреляции шерохова(о) тостей определяют по формуле

В (0) = А(0) /2 л

Формула изобретения

Способ определения параметров шероховатости оптической поверхности, заклюСоставитель Л.Лобзова

Техред М.Моргентал Корректор А.Осауленко

Редактор Н.Горват

Заказ 4237 Тираж; . Подписное.

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород. ул.Гагарина, 101