Узел соединения вакуумных трубопроводов
Изобретение относится к соединительным элементам вакуумных трубопроводов и может быть использовано при производстве изделий микроэлектроники. Цель изобретения - упрощение монтажа-демонтажа. Узел соединения вакуумных трубопроводов содержит фланцы 1 и 2, уплотнительный элемент 3, охватывающие фланцы П-образные захваты 8, соединенные шарнирами, поджимной элемент, выполненный в виде металлического кольца 7 и кольцевой волнистой пружины 6 из сплава с памятью формы, сопрягающихся между собой. Поджимной элемент размещен между боковыми поверхностями фланца 1 и захватов 8, причем кольцевая волнистая пружина 6 контактирует с торцом фланца. 2 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (51)5 F 16 L 23/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
И ABTGPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
8 7 б
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
1 (21) 4636105/40-29 (22) 12.01.89 (46) 15.12.90. Бюл. № 46 (72) Ю. В. Иванов (53) 621.643 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 974019, кл. F !6 1 23/02, !980. (54) УЗЕЛ СОЕДИНЕНИЯ ВАКУУМНЫХ
ТРУБОПРОВОДОВ (57) Изобретение относится к соединительным элементам вакуумных трубопроводов и м. б. использовано при производстве изделий микроэлектроники. Цель изобрете „„SU„„1613780 А 1
2 ния — упрощение монтажа-демонтажа. Узел соединения вакуумных трубопроводов содержит фланцы 1 и 2, уплотнительный элемент 3, охватывающие фланцы П-образные захваты 8, соединенные шарнирами, поджимной элемент, выполненный в виде металлического кольца 7 и кольцевой волнистой пружины 6 из сплава с памятью формы, сопрягающихся между собой. Поджимной элемент размещен между боковыми поверхностями фланца 1 и захватов 8, причем кольцевая волнистая пружина 6 контактируе с торцом фланца. 2 ил.
4:Ь
СО 3
С0
1613780
Формула изобретения
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к соединениям вакуумных трубопроводов, и может быть использовано при производстве изделий микроэлектроники.
Цель изобретения — упрощение монтажадемонтажа.
На фиг. 1 изображен узел соединения вакуумных трубопроводов при сборке (вверху) и в рабочем положении (внизу), фронтальный разрез; на фиг. 2 — разрез
А — А на фиг. 1.
Узел соединения вакуумных трубопроводов содержит сопрягаемые фланцы 1 и 2, уплотнительный элемент 3 в виде прокладки из мягкого металла (меди, алюминия или никеля). Фланец 1 имеет кольцевой зубчатый выступ 4. На фланце 2 выполнена ответная кольцевая канавка 5. На одном трубопроводе установлена кольцевая пружина 6 из сплава с памятью формы, например никелида титана, одна поверхность которой сопрягается .с. поверхностью фланца 1, а другая — с металлическим кольцом 7. Сопрягаемые фланцы 1 и 2 взаимодействуют с захватами 8, связанными между собой, например, легкосьемными шарнирами 9.
В исходном положении в начальной стадии сборки узла волнистая пружина 6 из сплава с памятью формы имеет форму плоской шайбы. После установки на трубопровод пружины 6 и кольца 7 уплотнительный элемент 3 и сопрягаемые фланцы 1 и 2 вакуумных трубопроводов соединяются захватами 8 с небольшим зазором и фиксируются легкосьемными шарнирами 9. Затем производится нагрев, например, газовой горелкой пружины 6 до тем-! пературы 35 — 70 С в зависимости от процентного содержания сплава с памятью формы через прорези между захватами 8.
При этом сплав пружины 6 вспоминает и принимает заданную при выполненной ранее термообработке волнистую форму. Напряжения йри возврате формы могут достигать 200 МПа и более. Пружина 6 при восстановлении волнистой формы, взаимодействуя с металлическим кольцом 7, фланцем 1 и захватом 8, создает сжимающие нагрузки, которые передаются коль10 цевому зубчатому выступу 4. Последний деформирует уплотнительный элемент 3, заполняет канавку 5, обеспечивая вакуумную плотность соединения трубопроводов.
При необходимости демонтажа узла кольцевую волнистую пружину 6 охлаждают хладагентом,. например жидким азотом, до отрицательных температур, В этом случае происходит обратный возврат формы плоской шайбы пружине 6. Между кольцом 7 и опорной поверхностью захвата образуется за20 зор, достаточный для извлечения захватов и полной разборки узла.
Перед повторной сборкой заменяют уплотнительный элемент. Далее цикл повторяется.
Узел соединения вакуумных трубопроводов, содержащий фланцы, уплотнительный элемент между ними, стянутые П-образными
30 захватами, и поджимной элемент, отличающийся тем, что, с целью упрощения монтажа-демонтажа, поджимной элемент выполнен в виде металлического кольца и кольцевой волнистой пружины из сплава с памятью формы, сопрягающихся между соЗ5 бой, и размещен между боковыми поверхностями одного из фланцев и захватов, причем кольцевая волнистая пружина контактирует с торцом фланца.
Фиг. 2
Составитель А. Семенов
Редактор А. Лежнина Техред А. Кравчук Корректор В. Гирняк
Заказ 3881 Тираж 567 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям н открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб.. д. 4/5
Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, уч. Гагарина, 10!
