Ловушка для примесных газов

Авторы патента:

Изобретение касается очистки газов от хлори фторсодержащих соединений и может быть применено в машиностроении, в частности в установках вакуумно-плазменного травления. Цель изобретения - повышение эффективности очистки за счет увеличения поверхности контакта. Ловушка включает в себя реакционную камеру, помещенную в корпус, резистивно нагреваемую железную спираль, имеющую коническую форму, конический трубчатый теплообменник. Расположение витков спирали и теплообменника таково, что делает проходное сечение ловушки оптически непрозрачным. Часть стенки реакционной камеры выполнена в виде кольцевой алюминиевой вставки. Поглощение хлорсодержащих соединений проходит на железной спирали, а фторсодержащих - на алюминиевой поверхности вставки. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

А1

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (1) В 01 D 53/14

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

MPH П(НТ CCCP

Н А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4435799/23-26 (22) 06.06.88 (46) 07.11.90. Бюл. ¹- 41 (72) А.В.Мальппев и П.Т.Богер (53) 66.074(088.8) (56) Патент ГДР № 2166379 кл. В 01 D 53/34, 1983. (54) ЛОВУШКА ДЛЯ ПРИМЕСНЫХ ГАЗОВ (57) Изобретение. касается очистки газов от хлор- и фторсодержащих соединений и может быть применено в машиностроении, в частности в установках вакуумно-плазменного травления.

Цель изобретения вЂ” повышение эффективности очистки за счет увеличения

Изобретение относится к очистке газов от примесей и мажет быть применена в машиностроении, в частности в установках вакуумно-плазменного травления, Цель изобретения вЂ” повышение эф- фективности очистки за счет увеличения поверхности контакта.

На чертеже показана ловушка, разрез.

Ловушка содержит корпус 1, в котором размещена реакционная камера

2, куда помещена железная спираль 3, выполненная из профиля постоянного сечения и имеющая коническую форму.

Часть стенки реакционной камеры выполнена в виде кольцевой алюминиевой вставки 4. В кольцевой полости, образованной корпусом и реакционной ка" мерой, установлен конический трубчатый теплообменник 5. С торцов карповерхности контакта. Ловушка включает в себя реакционную камеру, помещенную в корпус, резистивна нагреваемую железную спираль, имеющую коническую форму, конический трубчатый теплаобменник. Расположение витков спирали и теплаабменника таково,чта делает проходное сечение ловушки оптически непрозрачным. Часть стенки реакционной камеры выполнена в в. .це кольцевой алюминиевой вставки, ПавЂ” глащение хларсадержащих соединений проходит на железной спирали, а фтарсадержащих вЂ” на алюминиевой поверхности вставки. 1 з.п, ф вЂ” лы, 1 ил. пус закрыт крышками 6 и 7. Крышка 6 является общей для корпуса и реакционной камеры и -э ней помещен входной патрубок 8 для подачи аткачиваемого газа. В стенке корпуса расположен выходной патрубак 9 для очищенного и ахлы<деннага газа. Расположение витков спирали и теплоабменника делает проходное сечение кольцевой камеры оптически непрозрачным. При этом площадь суммарного межвпткавога про-. ходного сечения спиралп и теплаабменника превышает площадь поперечного сечения соответственно входного и выходного патрубков. Спираль 3 закреплена в крышке 7 при помощи держателя

10 и изолятора 11 через промежуточную прокладку 12.

Ловушка для примесных газов работает следующим образам.

1604434

Откачиваемый газ с агрессивными примесями попадает через входной патрубок 8 в реакционную. камеру 2, Хлор и его соединения вступают в реакцию с нагреваемой от источника электропитания железной спиралью 3, а соединения фтора адсорбируются поверхностью кольцевой алюминиевой . вставки 4, косвенно разогреваемой спиралью 3 Очищенный газ попадает в кольцевую полость, образованную корпусом 1 а крышками 6 и 7 и реакционной камерой 2 ° охлаждается в межвитковом пространстве конического трубчатого теплообменника 5 и выходит через патрубок 9.

Использование спирали и теплообменника конической формы повышает эффективность очистки и охлаждения газов, а выполнение части стенки реакционной камеры в виде кольцевой алюминиевой вставки позволяет получить большую площадь адсорбирования фторсодержащих примесей. В результате в одной ловушке обеспечивается высокая степень очистки газа от хлори фторсодержащих примесей. Изготовление спирали из профиля постоянного сечения более технологично, чем из пластины переменного сечения.

Формула изобретения

1. Ловушка для примесных газов хлор- и фторсодержащих, содержащая

10. корпус, в котором соосно установлена железная резистивно нагреваемая спираль, входной и выходной патрубки, отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности очи15 стки за счет увеличения поверхности контакта, она снабжена трубчатым коническим теплообменннком, а спираль имеет коническую форму, выполнена из профиля постоянного сечения

20 и снабжена кольцевой вставкой, прн этом в кольцевом пространстве между корпусом и вставкой расположен конический трубчатый теплообменник.

2, Ловушка по п,l о т л и ч а ю25 щ а я с я тем, что, с целью расши-, рения диапазона улавливаемых примесей, нижняя часть кольцевой вставки выполнена из алюминия.1

l604434

Юьи

Редактор Н.Гунько

Заказ 3414 Тираж 568 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-издатель .кий комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Х7д дхо

Составитель Л.Лукин

Техред M.Äèäütê Корректор В.Гирняк

Изобретение относится к технологии очистки газовых выбросов, применяемой в химической промышленности и позволяющей повысить эффективность процесса за счет увеличения емкости абсорбента и достичь упрощения процесса

Абсорбент для очистки газов от сероводорода // 1604432

Композиция для удаления диоксида серы из горячих газов // 1604146

Изобретение относится к составам для удаления SO<SB POS="POST">2</SB> из горячих газов, применяемым при очистке газов после сжигания серусодержащего угля или мазута и в процессе Клауса, позволяющим повысить поглотительную способность

Способ очистки природных и попутных газов от сероводорода // 1599063

Изобретение относится к нефтяной, нефтехимической и газовой промышленности и может быть использовано для очистки природных и попутных газов от сероводорода

Способ очистки газовой смеси от оксидов азота // 1593691

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при очистке газов от оксидов азота абсорбцией, в частности с помощью суспензии пентаоксида ванадия в азотной кислоте

Способ выделения меркаптанов из углеводородных газов // 1590117

Изобретение относится к очистке газов от меркаптанов и может быть использовано в нефтяной, газовой и химической отраслях промышленности

Способ очистки воздуха от паров олеофильных органических растворителей // 1590116

Изобретение относится к технологии очистки воздуха от паров олеофильных органических растворителей, применяемой в химической и машиностроительной отраслях промышленности и позволяющей повысить степень очистки

Способ очистки газов от фосфорного ангидрида, фтористого водорода и сернистого ангидрида // 1590115

Изобретение относится к технологии очистки газов от P 2O 5, HF и SO 2, применяемой в фосфорном производстве и позволяющей повысить степень очистки при удешевлении процесса за счет использования сточных вод

Способ очистки газов от фосфина // 1588431

Изобретение относится к технологии очистки газов от фосфина, применяемой в производстве фосфина, ацетилена гипофосфита натрия, в радиоэлектронике и позволяющей исключить образование коррозионно-агрессивных продуктов

Способ очистки ацетиленсодержащих газов от гомологов ацетилена // 1586752

Изобретение относится к технологии очистки ацетиленсодержащих газов от гомологов ацетилена, применяемой в производстве ацетилена и позволяющей снизить потери растворителя

Способ очистки абгазов от масляного и/или изомасляного альдегидов // 2100057

Изобретение относится к области охраны окружающей среды и может быть использовано при очистке газовых выбросов от масляного и/или изомасляного альдегида

Установка для очистки газовоздушных выбросов литейного производства // 2100058

Способ селективного удаления сульфида водорода из газа и устройство для его осуществления // 2103050

Изобретение относится к способу селективного удаления путем жидкостной абсорбции сульфида водорода из газа, образующегося при выпаривании черного щелока и содержащего сульфид водорода, а также двуокись углерода, и к устройству для осуществления способа

Способ десульфурации отработавшего газа, содержащего сернистокислый газ // 2103052

Способ получения товарного природного газа // 2104753

Изобретение относится к области газовой промышленности, в частности к получению товарного природного газа

Способ очистки газов от оксидов серы и азота // 2104754

Изобретение относится к способам очистки газов от вредных примесей оксидов серы и азота и может быть использовано при очистке дымовых газов, полученных при сжигании твердых топлив, а также в химической промышленности, в частности в производстве серной кислоты нитрозным или комбинированным контактно-нитрозным методом

Способ очистки газов от сероводорода // 2104758

Изобретение относится к процессам очистки газов от сернистых соединений жидкими поглотителями и может найти применение в газовой, нефтяной, нефтегазоперерабатывающей, химической и других отраслях промышленности для селективной очистки малосернистых углеводородных и отходящих газов от сероводорода, а также для очистки небольших объемов высокосернистых газов

Способ очистки отходящих газов и биофильтр для его осуществления // 2106184

Изобретение относится к очистке газов, отходящих при наливе битума, и может быть использовано на предприятиях нефтеперерабатывающей и нефтехимической промышленности

Установка улавливания паров нефтепродуктов // 2106903

Установка для очистки и обезвреживания газовых выбросов // 2106904

Изобретение относится к технике очистки газовых выбросов