Патент ссср 161436

CO@3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АЗВТ ООРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

К 161436

Класс

2lg, 21от

МПК

G 21

Заявлено 01.Х11,1962 (X 805535/26-24) ГОСУДАРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

СССР

УДК

Опубликовано 19Л1!1.1964. Бюллетень М 7

Подписная груа га № 84

И. Ф. Калинкевич, В. В. Афросимов и И. Т. Серенков

СПОСОБ СТАБИЛИЗАЦИИ ИОННОГО ПУЧКА

Известен способ стабилизации ионного пучка с использованием магнитного анализатора и коррекции ускоряю1цего напряжения.

Предлагаемый способ отличается тем, что ускоряющее напряжение модулируют пилообразным напряжением малой амплитуды и корректируют по минимуму постоянной составляющей разнополярных импульсов, получающихся после дифференцирования ионного тока, вошедшего в измерительную камеру.

Это повышает быстродействие, устраняет дрейф нуля стабилизирующего устройства и позволяет осуществить непосредственный контроль за пучком, вошедшим в измерительную камеру.

На чертеже представлена блок-схема установки, с помощью которой реализуется предложенный способ.

Ионный пучок, образованный в источнике 1, ускоряется напряжением высоковольтного источника 2, генератора 8 пилообразного напряжения, стабилизирующего устройства 4 и направляется в магнитный анализатор 5. Из магнитного анализатора через входную щель

5 ионный пучок попадает в измерительную камеру 7. Коллектор 8 регистрирует ионный пучок. В цепь коллектора наряду с прибором, измеряющим интенсивность ионного пучка, включена дифференцирующая цепь 9.

При изменении ускоряющего напряжения в цепи коллектора появится переменная составляющая с частотой модулирующего пилообразного напряжения и амплитудой, определяемой крутизной кривой зависимости ионного тока от ускоряющего напряжения. Выделяющийся на выходе дифференцирующей цепочки сигнал фиксирует изменение ускоряющего напряжения. Уменьшение ускоряющего напряжения соответствуют положительные импульсы, а увеличению — отрицательные. Оптимальному ускоряющему напряжению соответствуют импульсы обеих полярностей с минимальной амплитудой.

Эти импульсы с выхода дифференцирующей цепи подают на усилитель 10, а затем на балансный детектор 11, выделяющий постоянную составляющую импульсов. Напряжение с выхода детектора 11 проходит на стабилизирующее устройство 4, которое компенсирует изменение напряжения высоковольтного источника 2.

Предмет изобретения

Способ стабилизации ионного пучка с использованием магнитного анализатора и коррекции ускоряющего напряжения, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью непосредственного контроля за пучком, вошедшим в измерительную камеру, повышения быстродействия и устранения дрейфа нуля стабилизирующего устройства, ускоряющее напряжение модулируют пилообразным напряжением малой амплитуды и корректируют по минимуму постоянной составляющей разнополярных импульсов, получающихся после дифференцирования ионного тока, вошедшего в измерительную камеру, ¹ 161436

Состав.пель М. Грибова

1 сдактор Л. Герасимова Текред Т. П. Курилко Корректор Г. И. Чугунова

?1одп. к псч. 29)Ъ вЂ” 64 г. Формат бум. 60 Х 90 i8 Объем 0,23 изд. гп

Заказ 1164 11 Тираж 550 Цена 5 коп.

14Н14ИПИ 1осудпрстзс аго комитета по дслагн изобретений и открыт! и СССР

Хоскna, Центр, пр. Ссрова, д. 4

Типограф :и, пр. Сапунова, 2