Способ лучевой обработки и установка для его осуществления

1. Способ лучевой обработки, при котором осуществляют перемещение и колебания сфокусированного луча заданной мощности относительно обрабатываемой поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения качества путем стабилизации свойств обрабатываемой поверхности, осуществляют модуляцию луча по мощности, согласованную по частоте и фазе с колебаниями луча.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что модуляцию мощности луча осуществляют по сигналу, получаемому путем сдвига поперечной составляющей колебаний луча на четверть периода и двухполупериодного детектирования.

3. Установка для лазерной обработки, содержащая лазер, оптическую систему со сканатором и рабочий стол для закрепления деталей с приводами перемещения и системой управления, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества путем стабилизации свойств обрабатываемой поверхности, она снабжена модулятором, соединенным со сканатором, системой управления и лазером.

4. Установка по п.3, отличающаяся тем, что модулятор снабжен источником света, цилиндрической линзой с приводом перемещения, диафрагмой и фотоприемником, соединенным с лазером, причем привод перемещения линзы соединен с системой управления.

5. Установка по п.4, отличающаяся тем, что диафрагма жестко соединена с цилиндрической линзой.